好看日韩在线视频免费,日本不卡一区二区三区,三级a全过程在线观看,亚洲精品国产9999久久久久

您現(xiàn)在的位置:環(huán)保在線 > 公司庫 > 企業(yè)新聞

分享到微信朋友圈

1、打開微信,點(diǎn)擊底部的【發(fā)現(xiàn)】

2、使用【掃一掃】即可將網(wǎng)頁分享到朋友圈

HMDS預(yù)處理烘箱必要性和*性

2016年07月18日 23:35:28人氣:4669來源:上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司

   在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
 
HMDS預(yù)處理烘箱構(gòu)成及控制方式:設(shè)備主要由腔體,電氣控制箱以及真空泵組成。采用可編程控制器、操作界面為5.7” E-view觸摸屏加外部常用按鈕控制。
 
HMDS預(yù)處理烘箱的*性
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)在于:
(1)預(yù)處理性能更好,由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會大大降低,所以有著更好的處理效果。
(2)處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
(3)效率高。液態(tài)涂布是單片操作,而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)多盒的晶片。
(4)更加節(jié)省藥液。實(shí)踐證明,用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多。
(5)更加環(huán)保和安全,HMDS是有毒化學(xué)藥品,人吸入后會出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環(huán)境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī),所以也不會對環(huán)境造成污染。
全年征稿/資訊合作 聯(lián)系郵箱:hbzhan@vip.qq.com
版權(quán)與免責(zé)聲明
1、凡本網(wǎng)注明"來源:環(huán)保在線"的所有作品,版權(quán)均屬于環(huán)保在線,轉(zhuǎn)載請必須注明環(huán)保在線,http://www.niunang.cn。違反者本網(wǎng)將追究相關(guān)法律責(zé)任。
2、企業(yè)發(fā)布的公司新聞、技術(shù)文章、資料下載等內(nèi)容,如涉及侵權(quán)、違規(guī)遭投訴的,一律由發(fā)布企業(yè)自行承擔(dān)責(zé)任,本網(wǎng)有權(quán)刪除內(nèi)容并追溯責(zé)任。
3、本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或證實(shí)其內(nèi)容的真實(shí)性,不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品來源,并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
4、如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司作者

我要投稿
  • 投稿請發(fā)送郵件至:(郵件標(biāo)題請備注“投稿”)hbzhan@vip.qq.com
  • 聯(lián)系電話0571-87759680
環(huán)保行業(yè)“互聯(lián)網(wǎng)+”服務(wù)平臺
環(huán)保在線APP

功能豐富 實(shí)時交流

環(huán)保在線小程序

訂閱獲取更多服務(wù)

微信公眾號

關(guān)注我們

抖音

環(huán)保在線網(wǎng)

抖音號:hbzhan

打開抖音 搜索頁掃一掃

視頻號

環(huán)保在線

公眾號:環(huán)保在線

打開微信掃碼關(guān)注視頻號

快手

環(huán)保在線

快手ID:2537047074

打開快手 掃一掃關(guān)注
意見反饋
天天干天天天天天天天-亚洲综合av在线三区| 亚洲欧洲一区二区福利-亚洲欧美日韩高清中文| av一区免费在线观看-中文字幕日韩国产精品视频| 91大神国内精品免费网站-亚洲免费电影一区二区| 小12萝自慰喷水亚洲网站-chinese偷拍一区二区三区| 中文字幕偷拍亚洲九色-亚洲视频不卡一区二区天堂| 亚洲精品在线观看一二三区-在线观看国产中文字幕视频| 欧美视频在线观看国产专区-亚洲91精品在线观看| 精品老熟妇一区二区三区-日韩丰满一区二区三区| 亚洲一区二区免费av-中文字幕人妻久久久一区二区三区| 久久特一级av黄色片-91社区视频免费观看| hd在线观看一区二区-免费一区二区三区毛片在线| 日韩欧美国产综合久久-国产精品一起草在线观看| 日韩精品亚洲不卡一区二区-成人网在线视频精品一区二区三区| 国产在线一区二区三区欧美-久久偷拍精品视频久久| 少妇人妻无码久久久久久-综合图片亚洲网友自拍| 97香蕉久久国产在线观看-麻豆黄色广告免费看片| 欧美精品啪啪人妻一区二区-嫩草人妻舔舔羞羞一区二区三区| 天天干天天干2018-91人妻人人澡人爽精品| 精品国产综合一区二区三区-蜜臀一区二区三区刺激视频| 亚洲av成人一区国产精品网-国产偷_久久一级精品a免费| 国产精品v欧美精品v日韩精品-国产欧美日韩精品区一区二污污污| 亚洲最新国产无人区123-黄片一区二区在线观看| 国产欧美日韩精品一区在线-久久精品视频免费获取地址| 熟女熟妇伦51788-国产av在线播放一区二区三区| 亚洲女人黄色录像一区-日韩av电影在线免费看| 国产精品一区二区在线免费-久久精品国产亚洲av热明星| 欧美字幕一区二区三区-好吊妞欧美一区二区在线观看| 熟女熟妇伦51788-国产av在线播放一区二区三区| 五月婷婷免费观看视频-男人操女人下面视频在线免费看| 在线观看中午中文乱码-2021国产一级在线观看| 女主播啪啪大秀免费观看-精品99午夜福利影院| 青木玲高清中文字幕在线看-视频在线免费观看你懂的| 亚洲一区二区三在线观看-国产精品亚洲а∨天堂123| 可以免费看污污视频的网站-日韩欧美不卡视频在线观看| 午夜精品午夜福利在线-内射无套内射国产精品视频| 亚洲区欧美区在线视频-亚洲碰碰人人AV熟女天堂| 欧美aa一级视频播放-久一一区二区三区大香蕉| 久久精品国产亚洲av湖南-竹菊精品一区二区三区| 五月婷婷六月在线观看视频-亚洲黑寡妇黄色一级片| 婷婷人妻少妇激情在线-欧美日韩人体艺术一区二区|