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立式PECVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號KJ-PECVD-DZ

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更新時間：2022-09-01 15:42:44瀏覽次數(shù)：237次

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鄭州科佳電爐有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：206條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：陳科（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：該系統(tǒng)以含鉬電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，真空泵接口，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
該系統(tǒng)以含鉬電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，移相觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，真空泵接口，具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點。
結(jié)構(gòu)組成：
定制立式PECVD設(shè)備，由真空立式管式爐、石英真空室、射頻電源、供氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。

主要特點：
1、通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低。
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小。
4、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
5、廣泛應(yīng)用于：各種薄膜的生長，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。

應(yīng)用范圍：
PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于沉積高質(zhì)量、SiO2薄膜、Si3N4薄膜、SiC薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜和炭納米管（CNT）、石墨烯材料等。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	定制PECVD設(shè)備
產(chǎn)品型號	KJ-PECVD-DZ
立式管式爐
爐膛模式	立式開啟式
爐膛材料	進(jìn)口氧化鋁耐火纖維
加熱元件	進(jìn)口含鉬加熱絲
極限溫度	1200℃
工作溫度	≤1100℃
升溫速率	≤20℃(建議:15℃/min)
加熱溫區(qū)	單溫區(qū)、多溫區(qū)
溫區(qū)總長度	200、300、440
爐管材質(zhì)	高純石英
爐管直徑	40、50、60、80、100、120、150mm......
密封方式	304不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈)
控制模式	觸屏 30段智能PID程序控溫預(yù)留通訊接口
控溫精度	±1℃
溫度曲線	多段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)
測溫元件	K型熱電偶
氣路系統(tǒng)
工作電壓	220V/50HZ
輸出功率	18W
工作溫度	5--45℃
氣壓	3*106Pa
氣體通道	可同時連接多種氣源
流量計	質(zhì)量流量計
A路量程	0～500SCCM
B路量程	0～500SCCM
C路量程	0～500SCCM
氣路壓力	-0.1～0.15 MPa
截止閥	不銹鋼材質(zhì)
氣體連接管	1/4不銹鋼管
等離子電源系統(tǒng)
射頻頻率	13.56 MHz ±0.005%
功率范圍	0-100W、0-300W 、0-500W ± 1%
射頻接口	50 Ω, N-type
嗓聲	≤55DB
冷卻	風(fēng)冷
輸入功率	1KW AC220V/50HZ
數(shù)顯真空計及連接件
數(shù)顯真空計	數(shù)顯真空計安裝在不銹鋼法蘭上
真空泵組(相關(guān)連接配件)
真空泵	真空泵,及相應(yīng)連接管件 220V/50HZ
汽化系統(tǒng)
蠕動泵	精確度：+/- 0.5% FS 流量: 0 - 10 ml/min，可調(diào)，最小速率0.1ml/min 將吸液管放置在溶液容器中，蠕動泵可自動抽取液體

1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。