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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


三溫區(qū)CVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號(hào)KJ-OTF-1700-F5

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間:2022-09-01 19:35:43瀏覽次數(shù):350次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特點(diǎn):1、控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn):
1、 控制電路選用模糊PID程控技術(shù),該技術(shù)控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。
2、 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動(dòng)控制功能,高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng),耐沖擊分子泵
 防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統(tǒng)使用壽命。
 
 
產(chǎn)品用途:
    此款三溫區(qū)CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。
 
 產(chǎn)品詳情:
 

名稱高溫三溫區(qū)CVD設(shè)備
型號(hào)KJ-OTF-1700-F5
加熱系統(tǒng)顯示LED
溫度1700℃
工作溫度≤1600℃
升溫速率0~15℃/min
溫區(qū)3
溫區(qū)長度220mm
加熱元件MoSi2 棒
熱電偶B型
控溫精度±1℃
管尺寸80 x 1400mm
材質(zhì):氧化鋁
溫度控制PID自動(dòng)控制
溫控方式30段可編程
真空計(jì)復(fù)合真空計(jì)
真空法蘭帶閥門和針頭的不銹鋼真空法蘭
電壓/功率220V, 50 Hz, 10KW
真空泵系統(tǒng)真空泵組
(旋片泵+擴(kuò)散泵)
包括 KF25、KF50 適配器、真空泵組波紋管和帶輪移動(dòng)柜。
 
冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。
質(zhì)量流量計(jì)(5氣路)流量范圍(20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
準(zhǔn)確性±1.5 % F.S.
重復(fù)精度±1.5 % F.S.
響應(yīng)時(shí)間≦10sec
工作壓差范圍0.1~0.5MPa
耐壓性3MPa
溫度系數(shù)零: ≤±0.2% F.S./℃; 跨度: ≤±0.2% F.S./℃
工作環(huán)境溫度5~45℃
輸入信號(hào)0 V ~ +5.00 V
輸出信號(hào)0 V ~ +5.00 V
 電插頭形式DB15針(母)

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 


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