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高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)PT-CVD-1700-60*300-F3

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更新時(shí)間：2023-02-18 09:16:56瀏覽次數(shù)：257次

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  化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD)

高真空CVD系統(tǒng)

等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)(PECVD)

石墨烯、納米管生長(zhǎng)爐

低真空CVD系統(tǒng)

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鄭州科佳電爐有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：206條

所在地區(qū)：河南鄭州市

聯(lián)系人：陳科（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹：該高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：
該高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的工作溫度為300℃至1600℃，配備真空泵，氣體混合裝置。采用*的溫度控制系統(tǒng)，高溫精度，出色的氣體流量精度，易于操作，出色的隔熱效果和溫度均勻性。主要用于大學(xué)，科研機(jī)構(gòu)和生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行氣相沉積相關(guān)的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱		高溫化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào)		PT-CVD-1700-60*300-F3
加熱部分	顯示	LED
	溫度	1700℃
	工作溫度	≤1600℃
	升溫速率	建議: 0~15℃/min (max. 20℃/min)
	加溫溫區(qū)	300mm
	加熱元件	硅鉬棒
	熱電偶	B 型
	控溫精度	±1℃
	爐管尺寸	60 x 900mm
	爐管尺寸	剛玉管
	溫度控制	PID自動(dòng)控制
	升溫速率	30段可編程
	電壓	220V, 50 Hz, 單相功率： 4KW
	工作壓力	0.02MPa
真空部分	真空泵總成（旋轉(zhuǎn)葉片泵+擴(kuò)散泵）包括KF25、KF50適配器、用于真空泵組的波紋管和帶輪子的移動(dòng)柜。	冷態(tài)極限真空6.67*10-3Pa。
	真空測(cè)量	復(fù)合真空計(jì)。
	真空法蘭	帶閥和針的不銹鋼真空法蘭
質(zhì)量流量計(jì)（3條氣體路線Ar、H2、CH4）	流量范圍	(20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM
	精確度	±1.5 % F.S.
	響應(yīng)時(shí)間	≦10sec
	工作壓力差范圍	0.1~0.5MPa
	耐壓性	3MPa
	工作環(huán)境溫度	5~45℃
	輸入電壓信號(hào)	0 V ~ +5.00 V
	輸出電壓信號(hào)	0 V ~ +5.00 V

1、我公司對(duì)所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費(fèi)維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過(guò)程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運(yùn)行。
3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡(jiǎn)單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
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