高校過(guò)濾器檢漏
一、說(shuō)明
過(guò)濾網(wǎng)的泄漏測(cè)試應(yīng)當(dāng)是無(wú)塵室測(cè)試中,zui復(fù)雜、zui耗時(shí)間的測(cè)量項(xiàng)目。泄漏測(cè)試的目的,是要確認(rèn): 1. 濾網(wǎng)的材料無(wú)破損, 2. 安裝恰當(dāng)。濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過(guò)泄漏測(cè)試,但是在搬運(yùn)與安裝過(guò)程難保*無(wú)損,而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切,因此安裝完畢都要做一次掃描,以確認(rèn)濾材無(wú)任何泄漏。另外,若是安裝不恰當(dāng),微粒會(huì)從邊框漏進(jìn)無(wú)塵室風(fēng)口。就算是 FFU 系統(tǒng),天花板上是負(fù)壓,若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會(huì)產(chǎn)生問題。因此,邊框掃描一樣重要。 濾網(wǎng)泄漏測(cè)試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒,然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測(cè)儀器搜尋有無(wú)泄漏。泄漏測(cè)試有幾種不同的方式,適用在不同的場(chǎng)合。測(cè)試方式有: 1. 氣膠光度計(jì)測(cè)試法, 2. 微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法, 3. 全效率測(cè)試法, 4. 外氣測(cè)試法。后兩種現(xiàn)在使用非常少。
二、方法
1.氣溶膠光度計(jì)測(cè)試法
氣膠光度計(jì)測(cè)試法是zui早期的測(cè)試方式,但是因?yàn)樾Ч浅:?,到今天仍舊沿用。氣膠光度計(jì)( Aerosol Photometer )是微粒計(jì)數(shù)器的一種,也是使用雷射科技,但是它在掃描空氣樣本的微粒之后,所給的是微粒的總體強(qiáng)度,不是微粒數(shù)目。 DOP 是一種油性化學(xué)物質(zhì),現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后,可以產(chǎn)生次微米等級(jí)的微粒,可用來(lái)模擬無(wú)塵室的微粒,因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。
2.微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法
半導(dǎo)體業(yè)方面,早期也是使用 DOP/PAO 與氣膠光度計(jì),但是隨著制造精密度增加,油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無(wú)塵室使用,因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒,在上游施放,然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描,尋找泄漏,基本概念*相同。經(jīng)過(guò)科學(xué)家一步步研究結(jié)果,發(fā)現(xiàn) PSL 因?yàn)槲⒘5牧脚c濃度可以控制,因此是目前zui廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。使用時(shí)只要把 PSL 溶液霧化,導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可
PAO/DOP過(guò)濾器檢漏
一. 說(shuō)明
氣膠光度計(jì)測(cè)試法是zui早期的測(cè)試方式,但是因?yàn)樾Ч浅:?,到今天仍舊沿用。氣膠光度計(jì)(Aerosol Photometer)是微粒計(jì)數(shù)器的一種,也是使用雷射科技,但是它在掃描空氣樣本的微粒之后,所給的是微粒的總體強(qiáng)度,不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì),加壓或加熱霧化之后,可以產(chǎn)生次微米等級(jí)的微粒,可用來(lái)仿真無(wú)塵室的微粒,因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。
泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬(wàn)分之一,由于氣膠光度計(jì)可以直接顯示上下游微粒濃度的比值,因此掃描濾網(wǎng)非常方便。也正因其準(zhǔn)確、可靠,美國(guó)食品與藥品管制局(FDA)規(guī)定,在其管轄范圍內(nèi)(食品加工場(chǎng)所與醫(yī)療制藥場(chǎng)所),所有的濾網(wǎng)泄漏測(cè)試必須使用DOP與氣膠光度計(jì)。近年來(lái)由于人們懷疑DOP會(huì)導(dǎo)致癌癥,因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類似,使用上無(wú)多大差異。
二. 測(cè)試儀器
本測(cè)試法使用儀器為氣膠光度計(jì)(Aerosol Photometer)與微粒產(chǎn)生器(Aerosol Generator)。氣膠光度計(jì)的顯示版有模擬與數(shù)字兩種,每年必須校正一次(光度計(jì)可用用英國(guó)DOP Solutions 品牌)。微粒產(chǎn)生器有兩種,一種是普通的微粒產(chǎn)生器,只要求高壓空氣,另一種是加熱型微粒產(chǎn)生器,要高壓空氣和電源,微粒產(chǎn)生器不需要校正(氣溶膠發(fā)生器通常用英國(guó)DOP Solutions 品牌的氣溶膠發(fā)生器)。
氣溶膠發(fā)生器:

光度計(jì):

三. 測(cè)試方式
濾網(wǎng)泄漏測(cè)試的步驟,大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補(bǔ)、重測(cè),其步驟說(shuō)明如下
1.在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號(hào)。
2.確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測(cè)試,風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢。
3.使用氣膠產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒,將PAO打入濾網(wǎng)上游,微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄漏,但是超過(guò)50微克以后差別不大,少于10則很難使用。微粒濃度可用風(fēng)量粗略計(jì)算,再用氣膠光度計(jì)確認(rèn)。
4.上游微粒濃度確認(rèn)后,就可以在濾網(wǎng)表面掃描,尋找泄漏,必要時(shí)濾網(wǎng)四周可用塑料簾覆蓋以確保測(cè)試之準(zhǔn)確。
5.在濾網(wǎng)表面掃描,掃描之路徑可由外而內(nèi)或沿長(zhǎng)/短邊迂回檢測(cè)。
DOP Solutions成立于1988年,是享譽(yù)的高效和超高效檢漏測(cè)試裝置的供應(yīng)商,20多年來(lái)一直走在高效檢漏測(cè)試前沿。DOP Solutions所提供的配件和高效過(guò)濾器測(cè)試裝置在各行各業(yè)顧客的不斷支持下成為了這個(gè)行業(yè)的*。
在2012年,SUYAN獲得了英國(guó)DOP Solutions中國(guó)區(qū)*代理權(quán);我們?yōu)槟M(jìn)了目前的整套DOP高效檢漏設(shè)備(For ALL your HEPA Filter Testing Requirements),其中主要包括了SP200DAS型氣溶膠光度計(jì);SPG-300型氣動(dòng)式氣溶膠發(fā)生器;DOP2200型熱氣溶膠發(fā)生器;及其相應(yīng)的附件和配套設(shè)備。