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13電子廠潔潔凈室工程是一種通過控制空氣潔凈
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潔凈室及潔凈區(qū)選列的懸浮粒子潔凈度等級
表1 潔凈室及潔凈區(qū)選列的懸浮粒子潔凈度等級ISO等級序數(shù)（N）大于或等于表中被考慮的粒徑的zui大濃度限值pc/m3空氣濃度限值按3.2中的公式計算pc/(28.3L)1ft3空氣濃度限值pc/（2.83L）0.1ft3空氣濃度限值0.3μm0.5μm1μm5μm0.3μm0.5μm1μm5μm0.3μm0.5μm1μm5μmISO Class 5Class 10010200352083229289100230291020ISO Class 6Class 1000102000352008320293288710002358289100241ISO Class 7Class 10000352000832002930100002354839962368ISO Class 8Class 10000035200008320002930010000023545829996223558330萬級（GMP）10560000249600087900300000706352487298857064249ISOClass 9Class 1000000352000008320000293000100000023545682919961623545829注：由于涉及測量過程的不確定性，幫要求用三個有效的數(shù)據(jù)來確定濃度等級水平。
