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GY-TOC -5半導體FAB廠純水站升級紫外線TOC降解系統(tǒng)
參考價: 120000
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • GY-TOC -5 產(chǎn)品型號
  • 鑫冠宇 品牌
  • 生產(chǎn)商 廠商性質(zhì)
  • 石家莊市 所在地

訪問次數(shù):196更新時間:2025-04-15 09:52:21

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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn) 水質(zhì)要求 其他
應(yīng)用領(lǐng)域 半導體,電子,電池/蓄電池,實驗室,電鍍
半導體FAB廠純水站升級紫外線TOC降解系統(tǒng)
在半導體制造領(lǐng)域,超純水的質(zhì)量對芯片生產(chǎn)的良率和性能起著決定性作用。其中,總有機碳(TOC)作為衡量超純水純度的關(guān)鍵指標之一,其含量必須被嚴格控制在極低水平。
產(chǎn)品介紹

半導體FAB廠純水站升級紫外線TOC降解系統(tǒng)

半導體FAB廠純水站升級紫外線TOC降解系統(tǒng)


一、紫外線 TOC 降解系統(tǒng)的工作原理 1-5-3-6-9-1-8-7--10-6

紫外線 TOC 降解系統(tǒng)主要利用 185nm 波長的紫外線來實現(xiàn)對水中有機物的降解。當 185nm 紫外線照射到水中時,首先與水分子發(fā)生作用。高能量的紫外線光子能夠打斷水分子的化學鍵,促使水發(fā)生均裂反應(yīng),產(chǎn)生羥基自由基(?OH)、氫原子(H?)和水合電子(eaq)等活性中間體。這些活性中間體具有的氧化性和反應(yīng)活性。水中的有機物(TOC)遇到這些活性中間體后,會發(fā)生親電、親核或電子轉(zhuǎn)移反應(yīng)。在一系列復雜的化學反應(yīng)過程中,有機物分子的化學鍵被逐步打斷,結(jié)構(gòu)被破壞,最終被氧化分解為二氧化碳(CO?)和水(H?O),從而實現(xiàn)了 TOC 的高效降解,大幅降低超純水中的有機物含量,滿足半導體制造對水質(zhì)的嚴苛要求。


二、升級紫外線 TOC 降解系統(tǒng)的優(yōu)勢

  1. 高效降解:能快速有效地將超純水中的有機物分解,可使 TOC 含量降低至 ppb 級別甚至更低,顯著提升超純水的純度,極大減少因 TOC 導致的芯片制造缺陷,提高芯片良率。

  2. 環(huán)保無污染:在處理過程中,僅利用紫外線和水的反應(yīng)來降解有機物,無需添加任何化學藥劑,既不會引入新的雜質(zhì)污染水質(zhì),也不會產(chǎn)生化學殘留對環(huán)境造成危害,符合半導體行業(yè)綠色生產(chǎn)的理念。

  3. 穩(wěn)定性強:系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相對簡單,關(guān)鍵部件如紫外線燈管等技術(shù)成熟,運行穩(wěn)定性高。通過合理的設(shè)備選型和維護計劃,可確保長期穩(wěn)定運行,減少設(shè)備故障對生產(chǎn)的影響,保障純水站持續(xù)供應(yīng)高質(zhì)量超純水。

  4. 適配性佳:紫外線 TOC 降解系統(tǒng)可以靈活地與純水站現(xiàn)有的預處理、反滲透、離子交換等工藝模塊相結(jié)合,形成協(xié)同處理效果。例如,在反滲透前使用紫外線對原水進行預處理,可降低有機物對反滲透膜的污染風險,延長膜的使用壽命;在離子交換后進一步降解殘留的有機物,確保最終出水的 TOC 達到極低水平。同時,該系統(tǒng)可根據(jù)純水站的實際流量需求和水質(zhì)情況進行模塊化設(shè)計和配置,方便系統(tǒng)的擴容和升級。





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