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更新時間：2022-07-15 15:50:18瀏覽次數(shù)：1153次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的，即為凈化車間。
：周生
亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以，送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實質(zhì)是：突變流；非均勻流。
所以，概括地說，亂流潔凈室的作用原理是：當一股干凈氣流從送風口送入室內(nèi)時，迅速向四周擴散、混合，同時把差不多同樣數(shù)量的氣流從回風口排走，這股干凈氣流稀釋著室內(nèi)污染的空氣，把原來含塵濃度很高的室內(nèi)空氣沖淡了，一直達到平衡。所以氣流擴散得越快，越均勻，稀釋的技果就越好。凈化車間、 無塵室、 工程、十萬級 報價 管理 設(shè)計、、、、
潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。
對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室），由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標。過去都參考美國20gB標準，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是*的，為了節(jié)能，也都在探求降低速一風速的可行性。
在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計規(guī)范））都是這樣規(guī)定的
垂直平行流（層流）潔凈室≥0.25m/s
水平平行流（層流）潔凈室≥0.35 m/s
研究表明以上規(guī)定基本上滿足控制污染的要求，但認為應(yīng)區(qū)別不同情況分出不同的檔別，更能體現(xiàn)節(jié)能的目的。
潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準，目的在于保障操作正常進行，滿足必要的談話及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是：
1．煩惱的效應(yīng)
由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。
2．對工作效率的影響
這主要看三方面的反應(yīng)水平，這三個方面是：集中精神，動作準確性，工作速度；
3．對綜合通訊的干擾
這主要分為：清楚或滿意，稍困難，困難，不可能
根據(jù)中國建筑科學(xué)研究院建筑物理研究所1981年為編制《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》而進行的測定資料，在65dB(A)以下時，只有30%的人感到高煩惱。在65—70dB(A)時，其影響對工作效率的三方面反應(yīng)表現(xiàn)出較低水平；在60dB(A)以下說話清楚滿意．60～75dB(A)時有一定困難，犬于75dB很困難。因此認為潔凈室噪聲水平以65d)為宜，此時可使高煩惱率小于30%；保證一般通話；對工作效率影響很小
由于潔凈室內(nèi)的工作內(nèi)容大都有精細的要求，而且又都是密閉性房屋，所以對照明一向有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式：
(1)一般照明
它指不考慮特殊的局部需要，為照亮整個被照面積而設(shè)置的照明。
(2)局部照明
這是指為增加某一地點（如工作點）的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨使用局部照明。
(3)混合照明
這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%，但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。
國外潔凈室的強度要求*，例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標準的要求是．
100級: 1080-16001x
10000級: >lOOOlx
100000級: >1000LX
人工光300lx有較好的效果，當工件精細程度更高時，500x也是允許的。對于要紅燈照明的地方，如電子行業(yè)的光刻車間，其照度一般為25—501x)，
潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。
所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負<一）電荷等量的均勻的電中性狀態(tài)，而使電荷過剩，物體呈帶電狀態(tài)，由于這些電荷平時是不流動的，故稱靜電。
1．靜電電引起的靜電電擊，引起人的不安全和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；
2．靜電放電引起的放電電流，可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門柵極嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78%，這是因為半導(dǎo)體器件對靜電放電十分靈敏；
3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；
4．靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照像肢片等感光破壞；
5．靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；
6．靜電放電引起的zui危險的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻統(tǒng)計，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達21次；
控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。
亂流式 (Turbulent Flow)
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。
層流式(Laminar)
等級名稱 | 等級限值 | ||||||||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5μm | |||||||
容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | 容積單位 | |||||||
單位 | 英制 單位 | m | Ft | m | Ft | m | Ft | m | Ft | m | Ft |
M1.0 | 350 | 9.91 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10 | 0.283 | / | / | |
M1.5 | 1 | 1240 | 35.0 | 265.0 | 7.5 | 106 | 3 | 35.3 | 1 | / | / |
M2.0 | 3500 | 99.1 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | / | / | |
M2.5 | 10 | 12400 | 350.0 | 2650 | 75 | 1060 | 30 | 353 | 10 | / | / |
M3.0 | 35000 | 991.0 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | / | / | |
M3.5 | 100 | / | / | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | / | / |
M4.0 | / | / | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | / | / | |
M4.5 | 1000 | / | / | / | / | / | / | 35300 | 1000 | 247 | 7 |
M5.0 | / | / | / | / | / | / | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 | |
M5.5 | 10000 | / | / | / | / | / | / | 353000 | 10000 | 2470 | 70 |
M6.0 | / | / | / | / | / | / | 1000000 | 28300 | 6180 | 175 | |
M6.5 | 100000 | / | / | / | / | / | / | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 |
M7.0 | / | / | / | / | / | / | 10000000 | 283000 | 61800 | 1750 |
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率*之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種：
局部潔凈工程
潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高級之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。
空氣潔凈度等級標準及規(guī)范
經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標準和規(guī)范標準，都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級，例如美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》（GBJ73-84），1996年該規(guī)范進行了較大的修改，1990年頒布《潔凈室施工及驗收規(guī)范》（JGJ71-90）以指導(dǎo)施工和驗收的重要文件。目前，該規(guī)范在重新修訂中。
等級 | 每立方米（升）空氣中》0.5μm塵粒數(shù) | 每立方米（升）空氣中》5μm塵粒數(shù) |
100 | 《35*100（<3.5> | |
1000 | 《35*1000（<35> | 《250（<0.25> |
10000 | 《35*10000（<350> | 《2500（<2.5> |
100000 | 《35*100000（<3500> | 《25000（<25> |
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