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廣州紋徠儀器儀表有限公司
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數(shù)顯氣體流量表MF5712-G-250-B-A通迅協(xié)議說明

時(shí)間:2023/5/19閱讀:71
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數(shù)顯氣體流量表MF5712-G-250-B-A通迅協(xié)議說明:

MF5712系列氣體質(zhì)量流量計(jì)是廣州紋徠儀器儀表公司自主研制的MEM S流量傳感芯片,其原理是利用流動氣體傳熱傳質(zhì)的依存關(guān)系,在其上、下游產(chǎn)生溫度變化而得到氣體的質(zhì)量流量。

MF5712-G-250-B-A數(shù)顯氣體流量計(jì)同時(shí)實(shí)現(xiàn)熱源的產(chǎn)生與溫度的測量。當(dāng)芯片處于工作狀態(tài)時(shí),在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。一旦一定質(zhì)量的氣體流過傳感器時(shí),氣體的流動將破壞該溫度場的分布,形成特定的、取決于該氣體的質(zhì)量和速度的溫度場分布。微機(jī)電系統(tǒng)流量計(jì)芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉(zhuǎn)換為電信號,由一個(gè)專門的電路變送器對此信號進(jìn)行放大、調(diào)理并作線性化處理。由于不同質(zhì)量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產(chǎn)生的擾動不同,因而能測量氣體的質(zhì)量流量或總流量。下圖為該系列流量計(jì)的原理框圖。

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