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電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀

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產(chǎn)品型號(hào)HD-65

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更新時(shí)間：2022-07-12 14:53:44瀏覽次數(shù)：658次

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北京杰瑞恒達(dá)科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、基片曲率

半徑測(cè)量測(cè)試。該儀器總測(cè)量點(diǎn)數(shù)多, 能給出全場(chǎng)面型分布結(jié)果, 適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗(yàn)和微電子生產(chǎn)工藝研究。

儀器基于干涉計(jì)量的全場(chǎng)測(cè)試原理, 可實(shí)時(shí)觀測(cè)面型的分布, 迅速了解被測(cè)樣品的形貌及應(yīng)力

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱:電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀
規(guī)格型號(hào):HD-65

電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、基片曲率

半徑測(cè)量測(cè)試。該儀器總測(cè)量點(diǎn)數(shù)多, 能給出全場(chǎng)面型分布結(jié)果, 適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)品質(zhì)量的快速檢驗(yàn)和微電子生產(chǎn)工藝研究。

儀器基于干涉計(jì)量的全場(chǎng)測(cè)試原理, 可實(shí)時(shí)觀測(cè)面型的分布, 迅速了解被測(cè)樣品的形貌及應(yīng)力集中位置, 及時(shí)淘汰早期失效產(chǎn)品。

產(chǎn)品特點(diǎn)

*的錯(cuò)位相移技術(shù)

計(jì)算機(jī)自動(dòng)條紋處理

測(cè)試過(guò)程全自動(dòng)

*的曲面補(bǔ)償測(cè)試原理

主要技術(shù)指標(biāo)

zui大樣品尺寸	≤100mm (4英寸)
曲率范圍	\|R\|≥5米
測(cè)試精度	5%
單片測(cè)量時(shí)間	3分鐘/片
結(jié)果類型	面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示功能	三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示
電源	AC 220V±10%, 50Hz±5%
zui大功耗	100W
外型尺寸(L×W×H)	285mm×680mm×450mm
重量	36kg