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521次TA610測(cè)量平臺(tái),齒條升降,立柱可以隨意轉(zhuǎn)動(dòng),用來測(cè)量不容易放置的工件,可提高測(cè)量精度。TA620測(cè)量平臺(tái),絲桿升降,平臺(tái)上設(shè)置V型槽,用來測(cè)量形狀較小的工件,可提高測(cè)量平臺(tái)。TA630微調(diào)平臺(tái),X—Y平面轉(zhuǎn)角,俯仰角。TA631微調(diào)平臺(tái),X—Y平面轉(zhuǎn)角。TA630、631都用來較小幅度的,調(diào)整被測(cè)量工件的位置,提高測(cè)量精度。
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