溫室氣體指的是大氣中能吸收地面反射的長波輻射，并重新發(fā)射輻射的一些氣體，如水蒸氣、二氧化碳、大部分制冷劑等。它們的作用是使地球表面變得更暖，類似于溫室截留太陽輻射，并加熱溫室內(nèi)空氣的作用。這種溫室氣體使地球變得更溫暖的影響稱為“溫室效應(yīng)"。我們都知道二氧化碳是主要的溫室氣體，目前人類都在控制碳排放，但是溫室氣體可不只是二氧化碳一種，在北極凍土層，就有許多甲烷氣體，甲烷的溫室效應(yīng)是二氧化碳的許多倍，現(xiàn)在科學(xué)家們又發(fā)現(xiàn)了一種新的溫室氣體三氟化氮，在常溫下是一種無色、無臭、性質(zhì)穩(wěn)定的氣體，是一種強氧化劑。

三氟化氮在微電子工業(yè)中作為一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，在離子蝕刻時裂解為活性氟離子，這些氟離子對硅和鎢化合物，高純?nèi)哂袃?yōu)異的蝕刻速率和選擇性（對氧化硅和硅），它在蝕刻時，在蝕刻物表面不留任何殘留物，是非常良好的清洗劑，同時在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的運用，1960年，三氟化氮作為一種實驗火箭燃料被應(yīng)用。隨后它被用于美國星球大戰(zhàn)防御系統(tǒng)的化學(xué)激光。三氟化氮主要用于在平板顯示、集成電路和光伏太陽能的生產(chǎn)過程中。美國加利福尼亞大學(xué)環(huán)境學(xué)院主任邁克爾·普拉瑟曾表示，三氟化氮是一種溫室氣體，一旦排入大氣，會存在大約550年，影響“持續(xù)數(shù)百年才能消除"。

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深國安溫室氣體三氟化氮智型氣體傳感器模組

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