ABL9000氣浮平臺

1世上zui高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機(jī)驅(qū)動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um

AHL9000直線電機(jī)平臺

1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學(xué)檢測及制造應(yīng)用設(shè)計(jì)
2掃描軸是空氣軸承，步進(jìn)軸是機(jī)械軸承
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4雙直線電機(jī)驅(qū)動步進(jìn)軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um

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ABG10000氣浮平臺

1氣浮導(dǎo)軌實(shí)現(xiàn)超平滑運(yùn)動
2所有軸都預(yù)加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機(jī)驅(qū)動
3行程達(dá)1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機(jī)械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點(diǎn)膠機(jī),高精度檢測．
Travel行程≤1000mm
Accuracy精度±2.0um
Load負(fù)載84kg

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FiberCouple 130平臺

1同一條導(dǎo)軌上兩個運(yùn)動平臺
2獨(dú)立或并列運(yùn)動
32.5nm分辨率
4非接觸直線電機(jī)驅(qū)動
5交鑰匙的配套驅(qū)動和控制系統(tǒng)
6適合輔助軸

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VascuLathe ACS/ASR

1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
2.ER筒夾系統(tǒng)使材料箝位自動化
3.可選夾緊裝置夾緊管
4*的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
5.單或雙主軸結(jié)構(gòu)
6.可選擇濕切割
7.擁有兩項(xiàng)PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956

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LaserTurn

1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
2.氣動3爪卡盤或ER筒夾
3.較大的通孔可以使產(chǎn)品通過
4.可選擇在前后加工的平臺
5.直接驅(qū)動直線和旋轉(zhuǎn)電機(jī)技術(shù)

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PlanarHD氣浮平臺

1zui大2m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2zui快的轉(zhuǎn)向和zui小的穩(wěn)定時間
3主動偏轉(zhuǎn)控制
4直線光柵或激光干涉儀反饋
5行程1.2mx1.2m

行程≤1200mm
精度±300nm
重復(fù)定位精度±50nm
分辨率0.25nm

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APT 系列平轉(zhuǎn)和傾斜組合轉(zhuǎn)臺

1滿足安全，國防建設(shè)和監(jiān)測市場的需要
2把*的高精密機(jī)械與業(yè)界的控制技術(shù)結(jié)合在一起
3慣性穩(wěn)定
4包含內(nèi)置滑環(huán)，可連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°
5高定位精度和速度性能
6易于安裝和系統(tǒng)集成的集成電路
7低維護(hù)，高可靠性提供zui低的擁有成本
平轉(zhuǎn)：zui高速度180°/秒，持續(xù)360°
傾斜：zui高速度180°/秒，范圍為±95°
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度：120弧秒
有效載荷：35公斤

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SMP

1，同時進(jìn)行頂部和側(cè)面的3D表面測量
2，提高產(chǎn)量
3，節(jié)省時間和經(jīng)費(fèi)

AGV振鏡

1，光學(xué)反饋裝置提供優(yōu)秀的熱穩(wěn)定性
2，使用Aerotech的NmarkCLS控制器，可以實(shí)現(xiàn)工業(yè)級zui高的24位分辨率
3，光圈和焦距的范圍廣
4，多選擇的鏡面處理適應(yīng)于多種激光波長

ANT系列納米技術(shù)平臺

1，大行程
2，高動態(tài)性能
3，高精度
4，高分辨率
5，易使用軟件