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塵埃粒子計(jì)數(shù)器是用于測(cè)量潔凈環(huán)境中單位體積內(nèi)塵埃粒子數(shù)和粒徑分布的儀器。它可廣泛應(yīng)用于為各省市藥檢所、血液中心、防疫站、疾控中心、質(zhì)量監(jiān)督所等機(jī)構(gòu)、電子行業(yè)、制藥車(chē)間、半導(dǎo)體、光學(xué)或精密機(jī)械加工、塑膠、噴漆、醫(yī)院、環(huán)保、檢驗(yàn)所等生產(chǎn)企業(yè)和科研部門(mén)。
發(fā)展歷程
粒子計(jì)數(shù)器由顯微鏡發(fā)展而來(lái),經(jīng)歷了顯微鏡、沉降管、沉降儀、離心沉降儀、顆粒計(jì)數(shù)器、激光空氣粒子計(jì)數(shù)器、PCS納米激光空氣粒子計(jì)數(shù)器的過(guò)程,其中因激光空氣粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試速度快、動(dòng)態(tài)分布寬、不受人為影響等各方面的優(yōu)勢(shì),而成為很多行業(yè)的主流產(chǎn)品
基本原理
空氣中的微粒在光的照射下會(huì)發(fā)生散射,這種現(xiàn)象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波長(zhǎng)、微粒折射率及微粒對(duì)光的吸收特性等因素有關(guān)。但是就散射光強(qiáng)度和微粒大小而言,有一個(gè)基本規(guī)律,就是微粒散射光的強(qiáng)度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測(cè)定散射光的強(qiáng)度就可推知微粒的大小,就是光散射式粒子計(jì)數(shù)器的基本原理。實(shí)際上,每個(gè)粒子產(chǎn)生的散射光強(qiáng)度很弱,是一個(gè)很小的光脈沖,需要通過(guò)光電轉(zhuǎn)換器的放大作用,把光脈沖轉(zhuǎn)化為信號(hào)幅度較大的電脈沖,然后再經(jīng)過(guò)電子線路的進(jìn)一步放大和甄別,從而完成對(duì)大量電脈沖的計(jì)數(shù)工作。此時(shí),電脈沖數(shù)量對(duì)應(yīng)于微粒的個(gè)數(shù),電脈沖的幅度對(duì)應(yīng)于微粒的大小。
塵埃粒子計(jì)數(shù)器的具體工作原理:來(lái)自光源的光線被透鏡組聚焦于測(cè)量腔內(nèi),當(dāng)空氣中的每一個(gè)粒子快速地通過(guò)測(cè)量腔時(shí),便把入射光散射一次,形成一個(gè)光脈沖信號(hào)。這一光信號(hào)經(jīng)過(guò)透鏡組2被送到光檢測(cè)器,正比地轉(zhuǎn)換成電脈沖信號(hào),再經(jīng)過(guò)儀器電子線路的放大、甄別,揀出需要的信號(hào),通過(guò)計(jì)數(shù)系統(tǒng)顯示出來(lái)。
需要指出的是,雖然儀器稱(chēng)為“計(jì)數(shù)器”,但是儀器分辨微粒大小的能力更為重要。因?yàn)殡娒}沖的計(jì)數(shù)很簡(jiǎn)單,而判斷粒子的大小非常重要。
《計(jì)量法》明確了保障計(jì)量單位的統(tǒng)一和量值的準(zhǔn)確可靠。無(wú)論是在生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)還是科學(xué)研究等方面,計(jì)量工作都是維護(hù)正常社會(huì)經(jīng)濟(jì)活動(dòng)的重要保證。國(guó)家為保證全國(guó)的某一參數(shù)量值的一致、準(zhǔn)確,使在用計(jì)量器具的量值能夠溯源到國(guó)家計(jì)量基準(zhǔn),實(shí)現(xiàn)全國(guó)某一數(shù)量量值的準(zhǔn)確,自上而下的建立了完善的全國(guó)量值溯源體系。其目的主是通過(guò)對(duì)在用計(jì)量器具的校準(zhǔn),來(lái)保證生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)以及科學(xué)研究等各項(xiàng)經(jīng)濟(jì)活動(dòng)的正常進(jìn)行。
粒子計(jì)數(shù)器是國(guó)家規(guī)定的計(jì)量器具,在使用一段時(shí)間后,其光學(xué)系統(tǒng)及檢測(cè)系統(tǒng)都會(huì)發(fā)生變化,如光源老化、發(fā)光效率降低或聚焦錯(cuò)位、透鏡被污染,從而使整機(jī)的轉(zhuǎn)換靈敏度變化。因此需按JJF1190-2008《塵埃粒子計(jì)數(shù)器校準(zhǔn)規(guī)范》的要求每年定期到建筑能源與環(huán)境檢測(cè)中心進(jìn)行定期校準(zhǔn),對(duì)儀器各方面進(jìn)行調(diào)整,以獲得更好工作狀態(tài)。
光源是塵埃粒子計(jì)數(shù)器的關(guān)鍵部件,對(duì)儀器的性能影響很大。光源要求穩(wěn)定性高、壽命長(zhǎng)、不受干擾。激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器的光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈,體積大、發(fā)熱量高、壽命短,開(kāi)機(jī)后需要預(yù)熱。激光光源為激光器,體積小、穩(wěn)定性高、壽命長(zhǎng),常與檢測(cè)腔及光檢測(cè)器做成一體,組成傳感器。常見(jiàn)的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。采用普通光源的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器對(duì)0.3μm以下的微粒信號(hào)響應(yīng)很低,其信號(hào)幅度與計(jì)數(shù)器本身的噪聲幅度相差無(wú)幾,信號(hào)很難從噪聲中檢測(cè)出來(lái)。此類(lèi)儀器雖然標(biāo)有0.3μm這一通道,但只適于測(cè)定大于0.3μm特別是0.5μm以上的微粒。由于激光的單色性好,光能量集中穩(wěn)定,所以采用激光光源的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器其傳感器有較高的信噪比,此類(lèi)儀器有些能檢測(cè)到0.1μm的微粒。
分類(lèi)
1、按測(cè)試原理:光散亂法測(cè)試(白光、激光)、顯微鏡法測(cè)試、稱(chēng)重法測(cè)試、DMA法測(cè)試(粒徑分析儀)、慣性法測(cè)試、擴(kuò)散法測(cè)試、凝聚核法測(cè)試(CNC)等。
2、按流量:小流量 0.1cfm(2.83L/min) 大流量 1cfm(28.3L/min),GMP新規(guī)定中也有50L/min,100L/min流量的儀器;
3、按形狀、體積大?。菏殖质健⑴_(tái)式
4、按測(cè)試通道:?jiǎn)瓮ǖ溃ㄖ粶y(cè)某一種粒子徑);雙通道(測(cè)試某兩種粒子徑); 多通道(測(cè)試多種粒子徑)
5、其他:粒子計(jì)數(shù)器的應(yīng)用領(lǐng)域
日期和時(shí)間顯示;
USB高速通信接口;
RJ-45遠(yuǎn)程控制通信接口;
內(nèi)置COM串行打印機(jī)接口;
計(jì)數(shù)超限報(bào)警: 儀器可設(shè)置1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)、1000000級(jí)六個(gè)級(jí)別(對(duì)應(yīng)ISO的4到9級(jí))的計(jì)數(shù)超限報(bào)警 ;符合ISO14644-1/ GB50073-2001(CLASS4級(jí),5級(jí),6級(jí),7級(jí),8級(jí),9級(jí)) 2010版GMP(*、B級(jí)、C級(jí)、D級(jí)四個(gè)級(jí)別靜態(tài)和動(dòng)態(tài)兩個(gè)狀態(tài)的測(cè)量),F(xiàn)S-209E(10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)、300000級(jí)、1000000級(jí))等級(jí)別的檢測(cè)符合JJF-1190-2008塵埃粒子計(jì)數(shù)器計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范及JIS B9921:1997 每五分鐘≤1個(gè)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器,可存1000組測(cè)量結(jié)果; 可存8000組測(cè)量結(jié)果;可存100000組測(cè)量結(jié)果;
內(nèi)置傳感器能測(cè)量溫度、濕度并記錄存儲(chǔ);
8個(gè)粒徑通道可同時(shí)測(cè)量0.3μm ,0.5μm,0.7μm,1.0μm,2.0μm,5.0μm,,7.0μm,10.0μm的粒子 ; 可選0.3 、0.5、1.0、3.0、5.0、10μm, 、15μm, 、20μm, 八檔粒徑同時(shí)計(jì)數(shù).
測(cè)試范圍:1級(jí)~100萬(wàn)級(jí)(對(duì)應(yīng)ISO的4到9級(jí)) ;
重復(fù)性:相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差≤10% ;
粒徑準(zhǔn)確度:相對(duì)誤差≤10% ;
光 源:采用激光二極管作為傳感器的光源 ;
流 量:2.83升/分(0.1cfm)(誤差≤±5%) ; 28.3升/分(1cfm)(誤差≤±5%) ;50升/分(1.77cfm)(誤差≤±5%) ; 100升/分(3.54cfm)(誤差≤±5%) ;
zui大采樣時(shí)間:999999秒 ;
自凈時(shí)間:≤10min;
計(jì)數(shù)模式:累積計(jì)數(shù)模式、差分計(jì)數(shù)模式、濃度計(jì)數(shù)模式 ;
顯 示:液晶屏顯示(LCD)或數(shù)碼管顯示(LED)前者維護(hù)費(fèi)用較高,后者維護(hù)成本較低
電 源:Ni-MH電池(14.8V/2600mAH)或AC適配器(輸入:180~240V,輸出:14.8V/3000mA) ;
電池工作時(shí)間:連續(xù)測(cè)試時(shí)間約為4小時(shí)(Ni-MH電池) ; 以及直接220V電源的后者維護(hù)成本較低
重 量:小流量2.83L手持的在0.6kg,臺(tái)式的在2.6kg,28.3L的在15kg,50L的在18kg(要選用手推車(chē)),100L的在20kg(要選用手推車(chē))
工作環(huán)境溫度:5~40℃相對(duì)濕度:≤75% ;
標(biāo)準(zhǔn)附件:手提箱/充電器、等動(dòng)力采樣頭、帶采樣管的采樣支架、零過(guò)濾器、USB轉(zhuǎn)RS 232模塊、USB連接線、RS 232連接線、電腦連接通訊軟件光盤(pán)USB高速通信接口可用于與計(jì)算機(jī)通訊獲取數(shù)據(jù)、分析、軟件升級(jí)等
RJ-45遠(yuǎn)程控制通信接口,該接口用來(lái)和計(jì)算機(jī)通訊獲取數(shù)據(jù)、分析和遠(yuǎn)距離操作,COM內(nèi)置串行打印機(jī)接口:接串口打印機(jī) 手持式選 件:三角架、打印機(jī)(含電纜)、外置溫濕度傳感器,臺(tái)式儀器本身是有三角架和內(nèi)置打印機(jī)的
1、當(dāng)入口管被蓋住或被堵塞,不要啟動(dòng)計(jì)數(shù)儀
2、激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器應(yīng)該在潔凈環(huán)境下使用,以防止對(duì)激光傳感器的損傷
3、不要測(cè)有可能產(chǎn)生反應(yīng)的混合氣體(如氫氣和氧氣)。這此氣體也可能在計(jì)數(shù)器內(nèi)產(chǎn)生爆炸。測(cè)這些氣體需與廠家為取得更多的信息。
4、沒(méi)有高壓減壓設(shè)備(如高壓擴(kuò)散器)不要取樣壓縮空氣,所有的顆粒計(jì)數(shù)儀被設(shè)計(jì)用于在一個(gè)大氣壓下操作。
5、水,溶液或其它液體都不能從入口管進(jìn)入傳感器。
6、顆粒計(jì)數(shù)儀主要用來(lái)測(cè)試凈化車(chē)間干凈的環(huán)境,當(dāng)測(cè)的地方有松散顆粒的材質(zhì),灰塵源,噴霧處時(shí),須zui少保持距進(jìn)口管至少十二英寸遠(yuǎn)。以免以上的顆粒及液體污染傳感器及管路。
7、取樣時(shí),僻免取樣從計(jì)數(shù)器本身排出來(lái)的或被計(jì)數(shù)器出來(lái)的氣體所污染的氣體。
8、在連接外置打印機(jī)或連接外接溫濕度傳感器時(shí),需先關(guān)掉計(jì)數(shù)器;當(dāng)執(zhí)行打印操作時(shí),打印機(jī)上須有打印紙,否則會(huì)損傷打印頭。
以上各級(jí)別空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定如下表:
(1) 潔凈室(區(qū))空氣潔凈度級(jí)別表:
潔凈室(區(qū))空氣潔凈度級(jí)別對(duì)照表
潔凈度級(jí)別 | 粒子zui大濃度限值(個(gè)/m3) | 粒子zui大濃度限值/50L | ||
≥0.5μm | ≥5μm | ≥0.5μm | ≥5μm | |
100級(jí) | 3520 | 29 | 176 | 1.45 |
1000級(jí) | 35200 | 293 | 1760 | 14.65 |
10,000級(jí) | 352000 | 2930 | 17600 | 146.5 |
100,000級(jí) | 3520000 | 29300 | 176000 | 1465 |
300,000級(jí) | 10560000 | 87900 | 528000 | 4395 |
1000,000級(jí) | 35200000 | 293000 | 1760000 | 14650 |
ISO 14644-1:1999潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境/第1部分:
空氣潔凈度等級(jí)
潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)與傳統(tǒng)分級(jí)對(duì)照表
ISO等級(jí)N | 大于或等于關(guān)注粒徑的粒子zui大濃度限值(個(gè)/m3) | FS 209E 傳統(tǒng)分級(jí) | |||||
0.1mm | 0.2mm | 0.3mm | 0.5mm | 1.0mm | 5.0mm | ||
ISO 1級(jí) | 10 | 2 | —— | —— | —— | —— | |
ISO 2級(jí) | 100 | 24 | 10 | 4 | —— | —— | |
ISO 3級(jí) | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | —— | 1級(jí) |
ISO 4級(jí) | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | —— | 10級(jí) |
ISO 5級(jí) | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | 100級(jí) |
ISO 6級(jí) | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | 1000級(jí) |
ISO 7級(jí) | —— | —— | —— | 352000 | 83200 | 2930 | 10000級(jí) |
ISO 8級(jí) | —— | —— | —— | 3520000 | 832000 | 29300 | 100000級(jí) |
ISO 9級(jí) | —— | —— | —— | 35200000 | 8320000 | 293000 | |
注:按測(cè)量方法相關(guān)的不確定度要求,確定等級(jí)水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不超過(guò)3位。 |
藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范 2010版GMP
潔凈度級(jí)別 | 懸浮粒子zui大允許數(shù)/立方米(a) | |||
靜態(tài) | 動(dòng)態(tài) | |||
≥0.5μm | ≥5μm | ≥0.5μm | ≥5μm | |
* | 3520 | 20 | 3520 | 20 |
B級(jí) | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
C級(jí) | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 |
D級(jí) | 3520000 | 2,9000 | 不作規(guī)定 | 不作規(guī)定 |
凈度級(jí)別 | 懸浮粒子zui大允許數(shù)/立方米 | |||
靜態(tài) | 動(dòng)態(tài) | |||
≥0.5μm | ≥5.0μm | ≥0.5μm | ≥5.0μm | |
* | 3520 | 20 | 3520 | 20 |
B級(jí) | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
C級(jí) | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 |
D級(jí) | 3520000 | 29000 | 不作規(guī)定 | 不作規(guī)定 |
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