常用的有機(jī)廢氣處理方法有光氧催化、低溫等離子、微波催化、催化燃燒、活性炭吸附等，這些有機(jī)廢氣因所處行業(yè)、濃度不同適合于不同的處理方法。
光氧催化氧化處理法：利用特制的高能高臭氧UV紫外線(xiàn)光束照射廢氣，使有機(jī)或無(wú)機(jī)高分子化合物分子鏈，在高能紫外線(xiàn)光束照射下，與臭氧進(jìn)行反應(yīng)生成低分子化合物

活性炭吸附法處理法：利用吸附劑的吸附功能使有機(jī)廢氣物質(zhì)由氣相轉(zhuǎn)移至固相，適用于處理低濃度，高凈化要求的有機(jī)廢氣。

低溫等離子體廢氣處理法：等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含*化學(xué)活性的粒子，廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。
催化燃燒法廢氣處理法：在高溫下有機(jī)廢氣物質(zhì)與燃料氣充分混和，在催化劑實(shí)現(xiàn)*燃燒。