電子生產(chǎn)車(chē)間有機(jī)廢氣處理設(shè)備揮發(fā)性有機(jī)物（VOCS）是一類重要的空氣污染物,通常是指沸點(diǎn)50~260、室溫下飽和蒸氣壓超過(guò)133.132kPa的有機(jī)化合物,包括烴類、鹵代烴、芳香烴、多環(huán)芳香烴等。

2活性炭吸附法 可使用吸附能力較強(qiáng)的活性炭類物質(zhì)，吸附有機(jī)廢氣中的有害物質(zhì)，此種方法凈化率較高，且對(duì)設(shè)備的投資較?。?/p>

3吸收液吸收法 即將有機(jī)廢氣鼓入含相應(yīng)吸收劑的吸收液中，從而截留有機(jī)分子的方法，注意吸收液飽和后須及時(shí)更換。

電子生產(chǎn)車(chē)間有機(jī)廢氣處理設(shè)備

針對(duì)電子行業(yè) VOCs排放特點(diǎn)采用相應(yīng)末端治理技術(shù)，主要還是吸附法、焚燒法，吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體，吸附劑選擇性高，活性炭屬非極性吸附劑，對(duì)非極性化合物有較強(qiáng)的吸附能力，一般可凈化低濃度VOCs，凈化效率可達(dá)到90%以上。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪+焚燒方法使用的濃縮輪是一個(gè)裝滿吸附劑的旋轉(zhuǎn)輪，廢氣由旋轉(zhuǎn)輪的上游側(cè)進(jìn)入濃縮輪的吸附區(qū)，使VOCs得到濃縮，再經(jīng)脫附燃燒處理，去除效率可在98%。但是相對(duì)來(lái)說(shuō)投資就比較高了，有很多的企業(yè)無(wú)法接受動(dòng)輒上百萬(wàn)的廢氣處理投資。