等級	每立方米（每升）空氣中 ≥0.5微米塵粒數(shù)	每立方米（每升）空氣中 ≥5微米塵粒數(shù)
100 級	≤35×100（3.5）
1000 級	≤35×1000（35）	≤250（0.25）
10000 級	≤35×10000（350）	≤2500（2.5）
100000 級	≤35×100000（3500）	≤25000（25）

注：對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計算應(yīng)進行多次采樣。當其多次出現(xiàn)時，方可認為該測試數(shù)值是可靠的。

第2．0．2條潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗，應(yīng)以動態(tài)條件下測試的塵粒數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測試，應(yīng)符合附錄二規(guī)定。

第三章總體設(shè)計

*節(jié)潔凈廠房位置選擇和總平面布置		第二節(jié)工藝布置和設(shè)計綜合協(xié)調(diào)
第三節(jié)噪聲控制		第四節(jié)振動控制

*節(jié) 潔凈廠房位置選擇和總平面布置

第3.1.1條潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟方案比較后確定：

一、應(yīng)在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域；

二、應(yīng)遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠離嚴重空氣污染源時，則應(yīng)位于其zui大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年zui小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；

三、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地段。

第3．1．2條對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表允許環(huán)境振動值進行分析比較。

第3．1．3條潔凈廠房zui大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)有煙囪時，潔凈廠房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍。

第3.1.4條潔潔廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。

第3．1．5條潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道（可利用交通道路），如有困難時，可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車道。

第3．1．6條潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性好、發(fā)塵少的材料。

第3．1．7條潔凈廠房周圍應(yīng)進行綠化。可鋪植草坪、種植對大氣含塵農(nóng)度不產(chǎn)生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)。但不得妨礙消防操作。

第二節(jié) 工藝布置和設(shè)計綜合協(xié)調(diào)

第3．2．1條工藝布置應(yīng)符合下列要求：

一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)只布置必要的工藝設(shè)備以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。

二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機房，空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置，靠近潔凈區(qū)人口處宜布置空氣潔凈度等級較低的工作室。

三、潔凈室內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。

四、應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運輸路線，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。

五、應(yīng)設(shè)置單獨的物料人口，物料傳遞路線應(yīng)zui短，物料進入潔凈區(qū)之前必須進行清潔處理。

第3．2．2條潔凈廠房內(nèi)宜少設(shè)隔間，但在下列情況下可予以分隔。

一、按生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者。

二、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生較強噪聲或散發(fā)較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能采取局部措施加以控制者。

三、生產(chǎn)少，并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)車間之間。

第3．2．3條潔凈廠房的平面和空間設(shè)計，宜將潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房進行分區(qū)布置。同時應(yīng)考慮生產(chǎn)操作、工藝設(shè)備安裝和維修、氣流組織型式、管線布置以及凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)效果。

第3．2．4條潔凈廠房設(shè)計必須合理確定各種管線的平面位置和豎向標高。

第3．2．5條潔凈廠房內(nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施（如送風(fēng)口、照明器、回風(fēng)口、各種管線等）的布置，宜首先考慮凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的要求。

第三節(jié) 噪聲控制

第3．3．1條潔凈室內(nèi)的噪聲級，應(yīng)符合下列要求：

一、動態(tài)測試時，潔凈室內(nèi)的噪聲級不應(yīng)超過70分貝A。

二、空態(tài)測試時，亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A；層流潔凈室的噪聲級不應(yīng)大于65分貝A。

注：（1）由于技術(shù)經(jīng)濟條件限制，或噪聲大于70分貝A對生產(chǎn)無影響時，噪聲級可適當放寬，但不宜大于75分貝A；

（2）上述噪聲級是指在室內(nèi)每一個工作點人耳位置（人離開）的測量值。對于變動噪聲，則取相同位置處在一個正常工作日內(nèi)的等效連續(xù)聲壓級。

第3．3．2條潔凈室的噪聲頻譜限制，應(yīng)采用倍頻程聲太級；各頻帶聲壓級值不宜大于表3.3.2的規(guī)定。

第3．3．3條潔凈廠房的平、剖面布置，應(yīng)考慮噪聲控制的要求，其圍護結(jié)構(gòu)應(yīng)有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。

第3．3．4條潔凈室內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置隔聲設(shè)施（如隔聲間、隔聲罩等）。

第3.3.5條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔聲振等控制措施。

除事故排風(fēng)外，應(yīng)對潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)進行減噪設(shè)計。

第3．3．6條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，根據(jù)室內(nèi)噪聲級的要求，風(fēng)管內(nèi)風(fēng)速宜按下列規(guī)定選用：

一、總風(fēng)管為6～10米/秒。

二、無送、回風(fēng)口的支風(fēng)管為6～8米/秒。

三、有送、回風(fēng)口的大風(fēng)管為3～6米/秒。

第3．3．7條潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求，不得因控制噪聲而影響潔凈室的凈化條件。

第四節(jié) 振動控制

第3.4.1條潔凈廠房和周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備（包括水泵等）及其通往潔凈室的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。

第3．4．2條對潔凈廠房內(nèi)外各類振源，應(yīng)測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗對綜合振動影響進行評價。并應(yīng)與精密設(shè)備、精儀器儀表的允許環(huán)境振動值進行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。

第3．4．3條精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮減少發(fā)生量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當采用空氣彈簧隔振臺座時，應(yīng)地氣源進行處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級。

　第四章空氣凈化

*節(jié)一般規(guī)定		第二節(jié)潔凈室正壓控制
第三節(jié)氣流組組織和送風(fēng)量		第四節(jié)空氣凈化處理
第五節(jié)采暖通風(fēng)		第六節(jié)風(fēng)管和附件

*節(jié) 一般規(guī)定

第4．1．1條潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應(yīng)符合下列要求：

一、潔凈室內(nèi)有多種工序時，應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。

二、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組級別，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結(jié)合的形式。

第4.1.2條層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。

第4．1．3條潔凈室內(nèi)的計算溫、溫度、應(yīng)符合下列規(guī)定：

一、滿足生產(chǎn)工藝要求

二、生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時，潔凈室溫度為20～26度，溫度70度。

第4．1．4條潔凈室內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量，其數(shù)值頻取下列風(fēng)量中的zui大值；

一、亂流潔凈室總送風(fēng)量的10%～30%，層流潔凈室總送風(fēng)量的2～4%。

二、補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量。

三、保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。

第4．1．5條潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動式真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。

第4．1．6條在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規(guī)定。

第二節(jié) 潔凈室正壓控制

第4．2．1條潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差，應(yīng)不小于4.9Pa，潔凈區(qū)與室外的靜壓差，應(yīng)不小于9.8Pa。

第4．2．2條潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風(fēng)量，宜按下式計算：

Q＝q1·Σ（q·L）（4.2.2）

式中 Q––維持潔凈室正壓值所需的正壓風(fēng)量（米³/時）；

a––根據(jù)圍擴結(jié)構(gòu)氣密性確定的安全系數(shù)，可取1.1～1.2；

q––當潔凈室為某一正壓值時，其圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量（米³/時·米）；

L––圍擴結(jié)構(gòu)的縫隙長度（米）。

第5．2．3條圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量，可按表5.2.3采用。`

壓差（Pa）	門窗形式
	非密閉門	密閉門	單層固定密閉木窗	單層固定密閉鋼窗	單層開啟式密閉鋼窗	傳遞窗	壁板
	漏風(fēng)量（米³/時·米）
`4.9	17	4	1.0	0.7	3.5	2.0	0.3
9.8	24	6	1.5	1.0	4.5	3.0	0.6
14.7	30	8	2.0	1.3	6.0	4.0	0.8
19.6	36	9	2.5	1.5	7.0	5.0	1.0
24.5	40	10	2.8	1.7	8.0	5.5	1.2
29.4	44	11	3.0	1.9	8.5	6.0	1.4
34.3	48	12	3.5	2.1	9.0	7.0	1.5
39.2	52	13	3.8	2.3	10.0	7.5	1.7
44.1	55	15	4.0	2.5	10.5	8.0	1.9
49.0	60	16	4.4	2.6	11.5	9.0	2.0

第4．2．4條送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時，聯(lián)軸和序應(yīng)為先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機，系統(tǒng)關(guān)閉時，則聞鎖程序應(yīng)相反。

第4．2．5條非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班風(fēng)機，并應(yīng)對新風(fēng)進行處理。

第三節(jié) 氣流組組織和送風(fēng)量

第4．3．1 氣流組織的選擇，應(yīng)符合下列要求：

一、潔凈工作區(qū)的氣流速度，應(yīng)滿足空氣潔凈度和人體健康的要求，并應(yīng)使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)氣流流向單一。

二、回風(fēng)口宜均勻布置在潔凈室下部。

三、余壓閥宜設(shè)在潔凈室氣流的下風(fēng)側(cè)，不宜設(shè)在潔凈工作區(qū)高度范圍內(nèi)。

第4．3．2條潔凈室的氣流組織和送風(fēng)量，宜按表5.3.2選用。

第4．3．3條亂流潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列規(guī)定的zui大值；

一、為控制室內(nèi)空氣潔凈度所需要的送風(fēng)量。

二、按表5.3.2規(guī)定的送風(fēng)量。

三、根據(jù)熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風(fēng)量。

四、按空氣平衡所需要的送風(fēng)量。

第4.3.4條當生產(chǎn)工藝僅要求在潔凈室內(nèi)局部工作區(qū)達到更高的空氣潔凈度時，其氣流組織設(shè)計應(yīng)使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘?jīng)該工作區(qū)，或在潔凈室的不同區(qū)域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區(qū)，其型式可分別按圖5.3.4-1、5.3.4-2。

第4．3．5條層流潔凈室內(nèi)不宜設(shè)置潔凈工作臺；亂流潔凈室內(nèi)可設(shè)置潔凈工作臺，但其位置應(yīng)遠離回風(fēng)口。
第4．3．6條潔凈室內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時，其位置應(yīng)設(shè)在工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)。

第四節(jié) 空氣凈化處理

第4．4．1條各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、空氣過濾器三級過濾。

注1：100，000級空氣凈化處理，可采用亞空氣過濾器代空氣過濾器。

第4．4．2條確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

第4．4．3條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng)，凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或?qū)ζ渌ば蛴形：r，則不應(yīng)用回風(fēng)。

第4．4．4條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機的系統(tǒng)外，應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口參入潔凈室內(nèi)的防倒灌措施。

第4．4．5條空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合下列要求：

一、初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器。

二、中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段。

三、空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端。

四、中效、亞、空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用。

五、阻力、效率相近的空氣過濾器宜設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)。

六、空氣過濾器安裝方式應(yīng)簡便可靠，易于檢漏和更換。

第4．4．6條送風(fēng)機可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進行選擇，中效、空氣過濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計算。

第4．4．7條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施。

第五節(jié) 采暖通風(fēng)

第4．5．1條潔凈室的采暖型式，應(yīng)按下列不同情況確定：

一、100級、1000級、10，000級潔凈室，不應(yīng)采用散熱器采暖，100，000級潔凈室，不宜采用散熱器采暖。

二、值班采暖可利用技術(shù)夾道的散熱器進行間接采暖?；虿捎瞄g歇運行凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，值班風(fēng)機系統(tǒng)進行熱風(fēng)采暖。

第4.5.2條散熱器應(yīng)采用表面光滑不易積塵、便于清掃的形式。

第4．5．3條潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置、排風(fēng)罩的操作口面積應(yīng)盡量縮小。

第4．5．4條局部排風(fēng)系統(tǒng)在下列情況下，應(yīng)單獨設(shè)置：

一、非同一凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

二、排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性。

三、所排出的有害物毒性相差很大。

第4.5.5條潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)采取下列措施：

一、防倒灌措施。

二、含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火、防爆措施。

第4．5．6條換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。

第4．5．7條潔凈室事故排風(fēng)系統(tǒng)的換氣次數(shù)，應(yīng)采用每小時15～20次。

事故排風(fēng)裝置的控制開關(guān)，應(yīng)分別設(shè)在潔凈室和室外便于操作的地點，并應(yīng)與凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)鎖，其室內(nèi)宜設(shè)報警裝置。

第六節(jié) 風(fēng)管和附件

第4．6．1條風(fēng)管斷面尺寸的確定，應(yīng)考慮能對風(fēng)管內(nèi)壁進行清潔處理，并在適當位置設(shè)置密閉的清掃口。風(fēng)管壁厚按附錄六選用。

第4．6．2條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)管、回風(fēng)總管，應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。送風(fēng)機的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。送風(fēng)機的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或密閉閥。總風(fēng)管穿過樓板和風(fēng)管穿過防火墻處，必須設(shè)置防火閥。

第4．6．3條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥以及空氣過濾器的保護網(wǎng)、孔板和擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。

潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、調(diào)節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。

第4．6．4條在中效和的空氣過濾器前后，應(yīng)設(shè)置測壓孔。在新風(fēng)管和送回風(fēng)總管以及需要調(diào)節(jié)風(fēng)量的支管上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測定孔。

第4．6．5條排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，可采用塑料風(fēng)管，其他風(fēng)管以及風(fēng)管的保溫和游泳場材料及其粘結(jié)劑，應(yīng)采用非燃燒材料或難燃燒材料。

第五章工業(yè)氣體管道

*節(jié)一般規(guī)定節(jié)一般規(guī)定		第二節(jié)管道材料、閥門和附件道材料、閥門和附件
第三節(jié)管道連接和清洗第三節(jié)管道連接和清洗		第四節(jié)安全技術(shù)技術(shù)

*節(jié) 一般規(guī)定

第5．1．1條工業(yè)氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫氣和氧氣管道且明敷，如敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)時，應(yīng)采取良好的通風(fēng)措施。

引入潔凈的支管宜明敷。

第5．1．2條高純氣體管道設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：

一、根據(jù)計算確定管徑。

二、管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。

三、不宜設(shè)預(yù)留口。

四、不應(yīng)出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位。

五、干管不支管上應(yīng)設(shè)置吹除口。

六、在管系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置吹除口。

第5.1．3條穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。

第5．1．4條氫氣和氧氣管道的末端或zui高點宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1米，并應(yīng)設(shè)在防雷保護區(qū)內(nèi)。

第5．1．5條氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體統(tǒng)一計劃的要求進行選擇。氣體終端凈化裝置應(yīng)設(shè)在靠近用氣點處。

第5．1．6條氣體過濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)氣體過濾器。

第二節(jié) 管道材料、閥門和附件

5．2．1條根據(jù)不同的氣體及其純度和用途，管道材料應(yīng)按下列規(guī)定選用：

一、氣體純度大小或等于99.999%時，應(yīng)采用不銹鋼管。

二、氣體純度大于或等于99.99%時，宜采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管。

三、氣體純度小于99.99%時，可采用無縫鋼管。

四、管道與設(shè)備的連接段，宜采用金屬管道；如為非金屬軟管時，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管、不得采用乳膠管。

第5．2．2條高純氣體管道應(yīng)采用密封性能好的低門和附件，其材料與管道相適應(yīng)。閥門的密合圈應(yīng)為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應(yīng)采用聚四氟乙烯材料。

第5．2．3 高純氣體管道與附件連接的密封墊，應(yīng)采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。

第三節(jié) 管道連接和清洗

第5．3．1條管道連接應(yīng)采用焊接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊。

第5．3．2條管道與設(shè)備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。

第5．3．3條高純性氣體管道內(nèi)的內(nèi)壁、閥門和附件在安裝前，應(yīng)進行清洗、脫脂等預(yù)處理。

第四節(jié) 安全技術(shù)

第5．4．1條工業(yè)氣體管道設(shè)計的安全技術(shù)，應(yīng)符合下列規(guī)定；

一、氫氣管道的支管和放散管上，應(yīng)設(shè)置回火防止器。

二、氫氣和氧氣管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電裝置。

三、各種氣體管道應(yīng)設(shè)明顯標志。

第5．4．2條潔凈室內(nèi)使用氫氣時，宜在室內(nèi)設(shè)置報警裝置。

第5．4．3條各種氣瓶應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外，當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)。

2整套檢測儀
　　
兩整套檢測儀：1） 1#塵埃計：工廠用塵埃計（大個頭），數(shù)顯，江蘇儀器研究所產(chǎn)；
2#塵埃計：工地用塵埃計（中小個頭），數(shù)顯，江蘇儀器研究所生產(chǎn)；
2）溫濕度計：兩套, TES○R品牌，數(shù)顯；
3）1#風(fēng)速計：風(fēng)輪傳感—非風(fēng)道式，式，TES○R品牌，數(shù)顯；
2#風(fēng)速計：探棒傳感--風(fēng)道/非風(fēng)道兩用式，式，指針顯示；
4）分貝計：兩套, TES○R品牌，數(shù)顯；
5）照度計：1套, TES○R品牌，數(shù)顯；

3D方案..

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潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

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