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行業(yè)產(chǎn)品

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邁可諾技術(shù)有限公司


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美國PIE等離子清洗機(jī)

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參   考   價: ￥ 100

訂  貨  量: ≥1 個

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號Tergeo

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：趙先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-07-22 14:15:30瀏覽次數(shù)：1201次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：59條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：趙先生 （經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介
功率 標(biāo)配75W版本，可選150W版本；    

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；

2）腔體容積：2.6L；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米，深度：280毫米。

詳細(xì)介紹

1、反應(yīng)腔體

1）腔體材質(zhì)：圓柱形石英玻璃艙；

2）腔體容積：2.6L；

3）腔體尺寸：內(nèi)徑：110毫米，深度：280毫米。

2、射頻電源

1）射頻頻率：13.56MHz；

2）射頻功率：標(biāo)配0~75W；從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續(xù)可調(diào)，可選0~150W；。

3、等離子源

1）等離子強(qiáng)度探測器實(shí)時測量等離子源強(qiáng)度。

2）外置電極設(shè)計，高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。

4、氣體控制

1）氣路控制：標(biāo)配一路MFC；可選配三路MFC；

2）質(zhì)量流量計可以在0~100sccm之間準(zhǔn)確控制氣體流量；

3）一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。

產(chǎn)品相關(guān)關(guān)鍵字： 基本型等離子 擴(kuò)展型等離子清洗機(jī) 等離子體表面處理 Plasma Cleaner 等離子清洗機(jī)系統(tǒng)


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