等離子廢氣凈化器運(yùn)用超高壓脈沖電暈技術(shù)，當(dāng)有機(jī)廢氣進(jìn)入高壓電場模塊內(nèi)，高壓電場發(fā)生器在工作電壓的脈沖電暈作用下，發(fā)生強(qiáng)烈的輝光放電，電場模塊內(nèi)遍布強(qiáng)紫光，有機(jī)廢氣中的有機(jī)物在強(qiáng)紫光作用下，可在極短的時(shí)間（ns）內(nèi)，廢氣瞬間被激活，自由能猛增成為活化分子，這些活化分子在發(fā)生頻繁碰撞的瞬間，將動能轉(zhuǎn)化成為分子內(nèi)部的勢能，原有化學(xué)鍵發(fā)生斷裂，生成新的無害單一原子氣體，從而達(dá)到凈化目的。經(jīng)反應(yīng)后，有害的HC化合物轉(zhuǎn)化為無毒的CO2和H2O，因此，本法可利用較少的能耗達(dá)到治理VOC污染的目的，適用于大流量低濃度有機(jī)廢氣的治理。

　　等離子廢氣凈化器低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。