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微位移測(cè)量激光干涉儀ZLM800

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上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀--雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測(cè)量，角度變化量的監(jiān)測(cè)，移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)情況的檢測(cè)，及光刻機(jī)幾何量的測(cè)量，數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量，Z多實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能
ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測(cè)量、角度變化量的監(jiān)測(cè)、移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)情況的檢測(cè)、光刻機(jī)幾何量的測(cè)量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量等，zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。也可通過(guò)位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系測(cè)量檢測(cè)物體的振動(dòng)變化。

性能優(yōu)勢(shì) 技術(shù)參數(shù)

型號(hào)：ZLM800	使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長(zhǎng)：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時(shí)2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時(shí)）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)zui大輸出功率：	1mW （激光等級(jí)2）
每束光可測(cè)量的軸數(shù)：	zui多6個(gè)
線性測(cè)量距離：	40m，可擴(kuò)展為120m
角度測(cè)量范圍：	± 15°，20m軸線范圍
平面度測(cè)量范圍：	20m行程
直線度測(cè)量范圍：	± 5mm，2m或10m行程，選用角度干涉儀可測(cè)30m行程
垂直度測(cè)量范圍：	± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀
zui大速度：	4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度
zui大加速：	無(wú)限制
zui高采樣頻率：	內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間：	10分鐘
精度/非線性：	±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡）
距離測(cè)量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
距離測(cè)量精度：（20°±0.5°）使用AUK時(shí) （20°±0.5°）真空中時(shí)	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測(cè)量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
線性度測(cè)量精度：（20°±0.5°）使用AUK時(shí) （20°±0.5°）真空中時(shí)	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測(cè)量精度：	±0.5ppm實(shí)測(cè)值
角度測(cè)量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
角度測(cè)量精度：	±0.1ppm實(shí)測(cè)值
平面度測(cè)量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
平面度測(cè)量精度：	±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測(cè)量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直線度測(cè)量精度：	±0.5%實(shí)測(cè)值，2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值，10m行程
垂直度測(cè)量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度測(cè)量精度：	±0.5%實(shí)測(cè)值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實(shí)測(cè)值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：	積分信號(hào) 32 Bit （實(shí)時(shí)時(shí)間） Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無(wú)冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無(wú)冷凝

應(yīng)用案例

l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請(qǐng)用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。

l 全部部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國(guó)家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。

l 激光器壽命更長(zhǎng)，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻精度高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達(dá)±0.4ppm。

l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。

l 采樣頻率更快，zui高達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。

l 被測(cè)物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。

l 無(wú)加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號(hào)延時(shí)<200ns；對(duì)電磁干擾不敏感。

l 對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量，ZLM800型是理想的選擇。

以下是為*某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個(gè)應(yīng)用案例。在*個(gè)案例中，用兩個(gè)3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個(gè)擺鏡的擺動(dòng)，實(shí)時(shí)測(cè)試兩個(gè)擺鏡對(duì)應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個(gè)案例中，用一個(gè)3軸角度干涉儀來(lái)測(cè)試擺鏡的鏡面擺動(dòng)情況，2個(gè)單軸位移干涉儀檢測(cè)一個(gè)兩軸位移平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)情況。

下述案例是為國(guó)內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測(cè)量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測(cè)物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測(cè)量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對(duì)變化量。

ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖