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分子泵 LOW-E 生產(chǎn)線抽真空

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

分子泵 LOW-E 生產(chǎn)線抽真空

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 分子泵在LOW-E（低輻射玻璃）生產(chǎn)線中的應(yīng)用
LOW-E全名Low emissivity，是低輻射鍍膜玻璃。相對(duì)熱反射玻璃而言是一種新型節(jié)能玻璃。目前國(guó)際上普遍采用真空磁控濺射鍍膜技術(shù)（離線法）生產(chǎn)Low-E玻璃。伯東公司銷(xiāo)售的德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 分子泵成功應(yīng)用于此。

原理：玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕數(shù)量級(jí)的真空環(huán)境中，通入適量的工藝氣體（惰性氣體Ar或反應(yīng)氣體O2、N2），并保持真空度穩(wěn)定。將靶材Ag、Si等嵌入陰極，并在與陰極垂直的水平方向置入磁場(chǎng)從而構(gòu)成磁控靶。以磁控靶為陰極，加上直流或交流電源，在高電壓的作用下，工藝氣體發(fā)生電離，形成等離子體。其中，電子在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的共同作用下，進(jìn)行高速螺旋運(yùn)動(dòng)，碰撞氣體分子，產(chǎn)生更多的正離子和電子；正離子在電場(chǎng)的作用下，達(dá)到一定的能量后撞擊陰極靶材，被濺射出的靶材沉積在玻璃基片上形成薄膜。為了形成均勻一致的膜層，陰極靶靠近玻璃表面來(lái)回移動(dòng)。為了取得多層膜，必須使用多個(gè)陰極，每一個(gè)陰極均是在玻璃表面來(lái)回移動(dòng)，形成一定的膜厚。

德國(guó)普發(fā) PFEIFFER 憑借其120多年的真空制造經(jīng)驗(yàn)和范圍內(nèi)的售后服務(wù)和技術(shù)支持贏得LOW-E市場(chǎng)客戶的青睞，德國(guó)馮.阿登納(VON ARDENNE)是最典型的客戶。PFEIFFER 分子泵的LOE-E生產(chǎn)線使用在信義玻璃，南玻等中國(guó)玻璃制造。
Pfeiffer 分子泵優(yōu)點(diǎn)：

  • 多抽速供客戶選擇，抽速為1,000至2,000L/S
  • 對(duì)于H2,He和Ar,CF4有高的抽速
  • 安裝位置從0到90度，90到180度
  • 高的氣體流通量，即使是Ar,CF4
  • 集成的TC 1200驅(qū)動(dòng)單元可直接連接電源
  • 抗腐蝕能力供選擇
  • 豐富的接口界面：RS-485以及遠(yuǎn)程控制；profibus或者Devicenet可供選擇
  • 擁有IP 54和Semi S2 等級(jí)
  • 穩(wěn)定安全的轉(zhuǎn)子軸承系統(tǒng)
  • 符合UL,CSA以及TUV認(rèn)證
  • 簡(jiǎn)單的安裝


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