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根據(jù)“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”GB 50073-2002中名詞解釋,潔凈室就是“空氣懸浮粒子(灰塵、微生物……)濃度受控的房間。其建造和使用方式使房間內(nèi)進入的、產(chǎn)生的、滯留的粒子zui少,同時,還要按生產(chǎn)工藝的要求對房間內(nèi)的溫度、濕度、壓力、靜電、振動、噪聲等其他相關(guān)參數(shù)也要受控。”
從潔凈室的建造、使用和維護而言,潔凈室有四大技術(shù)要素:
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