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TESCAN掃描電鏡S9000X Xe Plasma FIB-SEM

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產(chǎn)品型號(hào)TESCAN S9000X

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更新時(shí)間：2024-02-16 15:51:07瀏覽次數(shù)：113次

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上海百賀儀器科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

TESCAN S9000X是一款氙（Xe）等離子超高分辨雙束FIB-SEM系統(tǒng),配置新穎的TriglavTM 超高分辨率電子鏡筒以及款的iFIB+TM離子鏡筒,它的超高分辨表征能力和的樣品制備效率,足以應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體和材料表征中挑戰(zhàn)性的物理失效分析工作,實(shí)現(xiàn)大體積三維樣品特性分析.

詳細(xì)介紹

S9000X Xe Plasma FIB-SEM主要優(yōu)勢(shì)：

• 新的 Essence 軟件的用戶界面可實(shí)現(xiàn)更輕松、更快速、更流暢的操作，包括碰撞模型和可定制的面向應(yīng)用流程的布局；

• 新一代 Triglav™ UHR SEM 鏡筒具有的分辨率，優(yōu)化的鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)在低束流能量下具有的性能；

• 軸向探測(cè)器通過能量過濾器，可以接收不同能量的電子信號(hào)，增強(qiáng)表面敏感性；

• 新型 iFIB+™ Xe 等離子 FIB 鏡筒具有的視野，可實(shí)現(xiàn)極大面積的截面加工；

• 新一代 SEM 鏡筒內(nèi)探測(cè)器結(jié)合高濺射率 FIB，實(shí)現(xiàn)超快三維微分析；

• 的氣體增強(qiáng)腐蝕和加工工藝，尤為適合封裝和 IC 去層應(yīng)用；

• 高精度壓電驅(qū)動(dòng)光闌，可實(shí)現(xiàn) FIB 預(yù)設(shè)值之間的快速切換；

• 新一代 FIB 鏡筒具有 30 個(gè)光闌，可延長(zhǎng)使用壽命，并限度地減少維護(hù)成本；

• 半自動(dòng)離子束斑優(yōu)化向?qū)?，可輕松選擇 FIB 銑削條件；

• 專用的面向工作流程的 SW 模塊、向?qū)Ш凸に?，可?shí)現(xiàn)的吞吐量和易用性。