S8000G FIB-SEM的優(yōu)點:
新一代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術,保證了復雜樣品的低電壓高分辨觀測能力
配置的靜電-電磁復合物鏡,物鏡無磁場外泄,實現(xiàn)磁性樣品高分辨成像及分析
配置4個新一代探測器,可實現(xiàn)9種圖像觀測,對樣品信息的采集更加全面
配置大型樣品室,有超過20個擴展接口,為原位觀測、分析創(chuàng)造了良好的工作環(huán)境
可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件,并實現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman聯(lián)用
新一代操作軟件和自動功能,F(xiàn)IB鏡筒具有全自動的離子鏡筒對中,極大簡化了操作
新一代 Orage™ Ga FIB鏡筒,適用于各類具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務
TESCAN S8000配置了的BrightBeam™鏡筒,實現(xiàn)了無磁場超高分辨成像,可以的實現(xiàn)各種分析,
包括磁性樣品的分析。新型鏡筒中的電子光路設計增強了低能量電子成像分辨率,特別適合對電子束敏感樣品
和不導電樣品的分析。創(chuàng)新的Orage™ Ga FIB鏡筒配有的離子槍和離子光學鏡筒,使得TESCAN S8000G
成為了世界的樣品制備和納米圖形成型的儀器。
S8000G束流可達100nA,具有超快速的加工能力,新穎的SmartMill高速切割功能,使得加工效率提升一倍。
S8000G離子能量可達500eV,擁有更優(yōu)秀的低壓樣品制備能力,可以快速制備無損超薄TEM樣品。
可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴展分析附件,并實現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman一體化。
新一代OptiGIS™氣體注入系統(tǒng)
S8000可配置的多種探測器,包括透鏡內(nèi)Axial detector 以及 Multidetector,可選擇不同角度和不同
能量來收集信號,體現(xiàn)更多種類的信息,同時獲得更好的表面靈敏度和對比度。S8000G有兩種氣體注入
系統(tǒng)可供選擇,標準的5針-GIS和新一代OptiGIS單針-GIS,單針的OptiGIS支持通過更換氣罐來更換化
學氣體,避免了以往多針氣體注入系統(tǒng)樣品倉內(nèi)占用空間大的問題。
兩種氣體注入系統(tǒng)均可以選擇多種沉積氣體,其中W、Pt、C等用于導電材料沉積,SiOx用于絕緣材料沉積,
XeF2、H2O等用于增強刻蝕,或其它定制氣體。
新一代Essence操作軟件,更簡單、高效的操作平臺
S8000可配置的多種探測器新操作軟件極大簡化了用戶界面,能快速訪問各主要功能,
減少了繁瑣的下單菜單操作,并優(yōu)化了操作流程向?qū)?,易于學習,兼容多用戶需求,
可根據(jù)工作需要定制操作界面。
新穎的樣品艙內(nèi)3D空間位置和移動軌跡模擬功能,可避免誤操作,造成碰撞。
樣品艙內(nèi)的3D空間位置和移動軌跡模擬
集成多項創(chuàng)新性設計,拓展新應用領域的利器
S8000可配置的多種探測器S8000G是TESCAN新一代FIB-SEM的成員,集成了BrightBeam™ SEM鏡筒、
Orage™ GaFIB鏡筒、OptiGIS氣體注入系統(tǒng)等多項創(chuàng)新設計,在高分辨能力、原位應用擴展能力和分析擴展能力方面達到了業(yè)內(nèi)水平,
此外新一代操作流程和軟件也給使用者帶來更舒適、高效的體驗。