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上海百賀儀器科技有限公司


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TESCAN掃描電鏡MAIA3 model 2016

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產(chǎn)品型號MAIA3 model 2016

品       牌

廠商性質經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式：百賀儀器查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-02-16 16:03:11瀏覽次數(shù)：84次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：1325條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：百賀儀器

產(chǎn)品簡介

MAIA3 model 2016產(chǎn)品是一款具有超高表面靈敏度的高分辨掃描電子顯微鏡,在不同加速電壓下均有著出色的成像能力.MAIA3 model 2016在低電壓下也有的性能,尤其對電子束敏感的半導體器件樣品以及納米材料等都具有優(yōu)異的表面靈敏度及高空間分辨率.全新的MAIA3也非常適合研究不導電試樣如原始狀態(tài)的生物樣品.

詳細介紹

主要特點：

TriglavTM——新開發(fā)的超高分辨電子光學鏡筒并配備TriLensTM物鏡及的探測系統(tǒng)

  • 超高分辨率物鏡（60度浸沒式物鏡），全新的用于高分辨率分析工作的無漏磁分析物鏡，
  • 重新設計用于超大視場觀察的中間鏡。
  • 的電子束無交叉模式與超高分辨率物鏡相結合，獲得了的成像性能
  • 傳統(tǒng)的TESCAN大視野光路設計提供各種工作和顯示模式
  • 全新的EquiPower™技術進一步提高電子束的穩(wěn)定性
  • 新的肖特基場發(fā)射電子槍能使電子束流高達400nA并能實現(xiàn)電子束能量的快速改變
  • 通過擴展樣品室和專用支架能達到12”晶圓的SEM觀察
  • 的TriBETM技術具有三個BSE探測器，可以選擇不同角度的信號進行采集。
  • 位于鏡筒內(nèi)部的Mid-Ange BSE和In-Beam LE-BSE探測器，
  • 用于檢測中等角度及軸向的高角背散射電子，而樣品室的BSE探測器用于探測大角度范圍的背散射電子。
  • 并且這三個探測器能探測到低于200eV的低能背散射信號，綜合在一起，他們可以提供各種不同襯度的圖像
  • 的TriSETM技術具有三個SE探測器，對所有工作模式下采集二次電子信號都進行了優(yōu)化。
  • 位于鏡筒內(nèi)部的In-Beam SE探測器能在短工作距離下采集二次電子。
  • 用于電子束減速模式下的SE(BDM)探測器用于超高分辨成像。In-Chamber SE探測器能提供的形貌襯度
  • 電子束減速技術(BDT)能在低至50eV的低電壓下，也仍具有出色的分辨率（選配）
  • 的電子束實時追蹤技術可對電子束實現(xiàn)實時優(yōu)化
  • 擴展的低真空模式樣品室氣壓能達到500Pa，可用于不導電樣品的成像


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