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東莞市雅之雷德機電科技有限公司

微型隔膜真空泵

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

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所在地區(qū)：廣東東莞市

聯(lián)系人：何先生 （銷售經(jīng)理）

技術(shù)文章

好凱德羅茨真空泵在真空電子束焊機的應(yīng)用

閱讀：685發(fā)布時間：2016-11-17

在真空電子束焊機中，真空系統(tǒng)還常采用好凱德羅茨真空泵作為增壓泵進行差級抽氣。羅茨真空泵是一種雙轉(zhuǎn)子容積分子抽氣機，除了容積作用外，還應(yīng)用了分子抽氣機的工作原理。

在高的壓力下，由于氣體的平均自由路徑比間隙小，排出的氣體會大量地返回，所以真空泵不能很好地工作，為使這種真空泵能夠正常工作，一般用旋片式機械泵作為前置真空泵。

當前置泵出口處的壓力降到100Pa左右時，好凱德羅茨真空泵開始工作，其zui大抽氣速率出現(xiàn)在1.33Pa時，這時氣體的平均自由路徑顯著地超過了間隙的寬度，大大增加了返回氣體的流阻，而且它的進氣壓力與出口的前置真空壓力成直線關(guān)系。

好凱德羅茨真空泵在1.33×10-2~1.33Pa壓力范圍內(nèi)有很高的抽速，可達40000L/S，能迅速排出突然放出的氣體。在這一壓力范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)式機械泵的抽速已經(jīng)很小了，而油擴散泵則剛剛開始工作，因此這兩種泵在抽氣速率上的脫節(jié)，雅之雷德在其間加一級羅茨真空泵來解決，因此又稱它為增壓泵。


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