一般的真空蒸發(fā)設(shè)備,在正常狀態(tài)下能達到3×10-3帕。時間抽長點,鐘翠內(nèi)部等支架比較干凈時,能抽到7×10-4帕左右。如果系統(tǒng)長時間進入不了10-3帕,說明高真空部分有毛病。雅之雷德生產(chǎn)上遇到的原因有以下兩種:
a.上旁通閥門密封圈松或損壞
蒸發(fā)設(shè)備幾個閥門中,此閥的故障率是zui多的。這不是因為它的開閉次數(shù)。主要原因是抽大氣時,大量氣體先經(jīng)過它,故鐘罩中蒸發(fā)時殘留下的微粒,如金屬、介質(zhì)皮屑常被氣流吸卷著穿過此閥.其中一部分會粘到蝶閥的橡皮密封面處(通常裝閥時在密封面處涂上一層真空脂,故更易粘附)造成閥門關(guān)閉不嚴。從而使高壓強一端(低真空管路中)的氣流通過此閥漏入高真空區(qū),造成高真空抽不上。判斷此閥故障比較簡單,轉(zhuǎn)動閥門手柄。如閥門關(guān)不到原位或到位很松(正常狀態(tài)時閥門快關(guān)到位時有鎖緊的手感),估計毛病在此。進一步證實,可以用鐘罩放氣來驗證,方法是把主閥和上下旁通閥都關(guān)閉,鐘罩放大氣,好凱德進口真空泵如有抽大氣的響聲即可證明。
修復(fù)的方法是拆下閥門,發(fā)現(xiàn)壞損的密封圈就要更換。如沒損壞只是碎屑粘上,可用綢布蘸上酒精擦掉。對松的密封圈可在閥蓋和閥桿中間墊金屬片(約0.2毫米~0.6毫米),具體墊多厚為宜,全憑搬動手柄人手的感覺,松緊要適中。
b.擴散泵中的問題
通常好凱德進口真空泵抽到1。帕,加熱擴散泵一小時左右,真空度就能進入4×10-3帕。若*停在10-2帕,說明擴散泵以上部位有問題。是擴散泵本身問題,還是鐘罩上部的問題,可以關(guān)閉主閥判斷。方法是關(guān)閉主閥,記錄壓強隨時間的變化數(shù)值,劃出曲線。通過曲線判斷是系統(tǒng)有漏氣還是擴散泵的問題。
