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行業(yè)產(chǎn)品

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東莞市雅之雷德機電科技有限公司

微型隔膜真空泵

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：3000條

所在地區(qū)：廣東東莞市

聯(lián)系人：何先生 （銷售經(jīng)理）

公司動態(tài)

好凱德真空泵在半導(dǎo)體制造業(yè)中的運用

閱讀：83發(fā)布時間：2016-12-27

在半導(dǎo)體制造業(yè)中有很多種不同的進口真空泵。雅之雷德機電把它們分成兩類:初級泵和真空泵。初級泵有幾種用途:在腔內(nèi)創(chuàng)造近似中級真空(壓力小于10-3托);清空多腔集成設(shè)備中接收硅片的區(qū)域(如真空鎖);為真空泵抽氣.真空泵用來獲得壓力范圍10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片廠中使用的好凱德真空泵是干性的，意味著其內(nèi)部沒有任何可能回流到工藝腔中沾污硅片的油或潤滑劑。


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