純水設(shè)備超純水系統(tǒng)變得越來越復(fù)雜和龐大，系統(tǒng)需要檢測執(zhí)行的信號繁多，對超純水自動化系統(tǒng)的數(shù)據(jù)處置能力、平安性，可靠性的要求的提出了更高的要求，且需要及時地對系統(tǒng)的故障進行有效的預(yù)測、檢測、分離和修復(fù)。自來水被存儲到原水箱中，稱為原水。原水通過泵被抽入多介質(zhì)過濾器中，原水從過濾器頂部進入，通過罐體內(nèi)的過濾介質(zhì)，通過底部總管排出，水中不溶于水的大顆粒，懸浮物將會被有效地內(nèi)部填裝的過濾介質(zhì)所攔截。同時，多介質(zhì)過濾器在防止污染活性碳濾床的預(yù)防中發(fā)揮關(guān)鍵作用。
純水設(shè)備隨同著TFT-LCD制造工業(yè)的發(fā)展。六十年代，超純水的離子泄漏量要求為5ppb微克/升)七十年代中期已提高到1ppb進入八十年代后，這個目標(biāo)已向0.1ppb邁進。九十年代，膜技術(shù)得到廣泛應(yīng)用，微濾、超濾、電滲析和反滲透RO等的水處置技術(shù)得到長足發(fā)展，RO-混床系統(tǒng)取代了保守的離子交換系統(tǒng)，滿足了諸如TFT-LCD等行業(yè)對純水質(zhì)量要求，從而大大推動了純水技術(shù)的發(fā)展。
七八十年代，不管是離子交換法還是反滲透法的超純水處置，純水設(shè)備其控制系統(tǒng)主要采用DCSDistributedControlSyestem分散控制系統(tǒng)。DCS系統(tǒng)需要第三方儀表或控制系統(tǒng)按其專用協(xié)議與DCS通訊，開放性差。90年代后，隨著PLC控制功能增強，功耗和體積減小，利息下降，可靠性的提高，且其編程和故障檢測也更為靈活方便。而且隨著分布式I/O和現(xiàn)場總線通信網(wǎng)絡(luò)的發(fā)展，PLC數(shù)據(jù)處置能力的發(fā)展，使PLC成為工業(yè)生產(chǎn)自動化產(chǎn)業(yè)的一大支柱。超純水處置控制系統(tǒng)也逐漸從DCS控制系統(tǒng)過渡到采用PLC現(xiàn)場總線控制系統(tǒng)。
