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用于半導體的 Themis™ S S/TEM

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號Thermo Scientific

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

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更新時間：2023-04-02 14:18:47瀏覽次數(shù)：378次

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產(chǎn)品簡介

Thermo Scientific Themis S S/TEM 是一款 80–200kV 掃描/透射電子顯微鏡 (S/TEM)，專為半導體設備的高速成像和分析而設計。Themis S TEM 作為業(yè)界標準 Themis 系列新成員，將繼承較佳空間分辨率和較高效化學分析的組合。

詳細介紹

Themis S S/TEM 用于半導體的優(yōu)勢包括：

  • 高分辨率和高通量分析的較佳組合。透鏡配置使其僅在 Themis 上可用。它可提供較佳的圖像分辨率和較高的能譜效率。
  • 極值得信賴的測量精確度。由于存在 ≤2% 的測量不確定性，在關(guān)鍵尺寸測量應用中可提供可信任、可重復性和一致性。
  • 較強的多功能性。光學器件、化學檢測、寬間隙極靴和應用軟件的結(jié)合可確保平臺覆蓋能夠涵蓋廣泛的應用。

較快獲得結(jié)果

Themis S S/TEM 將壓電工作臺和漂移校正幀 (DCFI) 結(jié)合使用以補償可能的樣品漂移，從而能夠較快獲取數(shù)據(jù)。如此，僅在上樣后數(shù)分鐘內(nèi)即可在 TEM 和 STEM 模式中采集高質(zhì)量、高分辨率圖像。

提高生產(chǎn)率

為了優(yōu)化生產(chǎn)率，Themis S S/TEM 使用雙線圈恒定功率透鏡來盡量減少熱漂移并盡量提高系統(tǒng)通量。這種設計可以消除在不同模式之間切換時的鏡頭熱變化，例如從低倍鏡模式切換進行特征搜索，以及從高倍鏡模式切換進行成像。

關(guān)鍵詞：工作臺

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