維修真空設備的要點是判斷故障。往往是真空抽不上去，原因可能有幾個，一定要搞清楚是什么原因，也許真空機組的抽氣能力不夠，也可能是漏率偏高，又或者兩種可能都有。這時，應該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時間相同，而真空度偏低，這時候關閉主閥，如真空計指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，這時候應先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機組抽氣能力不夠，這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上來，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴散泵油污染了，氧化了；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵油乳化，軸封漏油等故障。 

1）   檢測漏率：  
用戶zui頭疼的問題就是檢測漏率。漏——分內(nèi)漏和外漏，外漏比較好檢測，內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點偏移，則可找到漏點。  

2）   漏和微漏的查找：  
小漏和微漏就比較難查了，大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩(wěn)定了——也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。是反復幾次，確認漏點。