MEMS加速度振動傳感器原理MEMS是micro electro mechanical system微電子機械系統(tǒng)的縮寫，這種微電子制造技術適用于任何傳感器的制造。這些技術，通常在硅晶體上蝕刻，創(chuàng)造微觀尺寸的機械傳感結(jié)構(gòu)。當與微電路耦合時，MEMS傳感器可以用于測量例如加速度之類的物理參數(shù)。不同于ICP®傳感器，MEMS傳感器測量頻率低至0Hz(靜態(tài)或者DC加速度)。PCB®制造兩種類型的MEMS加速度計，可變電容式和壓阻式?？勺冸娙?VC)MEMS加速度計主要是低幅值，高靈敏度設備，用于結(jié)構(gòu)監(jiān)測和恒定加速度的測量。壓阻(PR)MEMS加速度計主要是高量程，低靈敏度設備，用于沖擊和爆炸應用。工業(yè)加速度傳感器可以使用耐腐蝕和耐化學腐蝕的不銹鋼進行構(gòu)造。在有害化學物質(zhì)的環(huán)境中，傳感器考慮使用聚四氟乙烯耐腐蝕的連接電纜。強烈建議檢查任何可疑化學物質(zhì)的化學兼容性圖表。對于能接觸到切屑的環(huán)境，一體鎧裝電纜能提供良好的保護。

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MEMS加速度振動傳感器原理

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