小型滑動(dòng)PECVD管式爐系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)OTF-1200X-50S-PE-SL

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聯(lián)系方式：徐鰲查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù)：178次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  PECVD

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上海添時(shí)科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

OTF-1200X-50-PE-SL是一款小型滑動(dòng)開啟式PECVD系統(tǒng)。此套設(shè)備配有等離子射頻電源，直徑為50mm的開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及機(jī)械泵組成。該設(shè)備模型可更新為不同類型的PECVD 系統(tǒng)，且設(shè)備性價(jià)比較為理想

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

•一射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

•可通過爐體滑動(dòng)達(dá)到快速升溫和降溫；

•可通過射頻電源的頻率來控制薄膜的應(yīng)力;

•可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計(jì)量；

•可沉積各種材料，如SiOx，SiNx，SiOxNy和(a-Si:H)等。

加熱爐參數(shù)：

•溫度：1100℃（<30min）：連續(xù)工作溫度：1000℃：

•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控瀝精度：±1℃；

•輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW：

•爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命