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行業(yè)產(chǎn)品

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上海添時科學(xué)儀器有限公司


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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號OTF-1200X-50-4CLV-PE

品       牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地

聯(lián)系方式:徐鰲查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-07-22 14:15:13瀏覽次數(shù):225次

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經(jīng)營模式:

商鋪產(chǎn)品:1313條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:徐鰲 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD),內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

詳細(xì)介紹

實(shí)驗(yàn)機(jī)理:

輝光放電等離子體中:電子密度高10A3-10A12cm3

電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100

產(chǎn)品特點(diǎn):

雖環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解,離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。

科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。

下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計和高真空系統(tǒng)氣體組成

image.png 

開啟式管式爐:

工作溫度:1200℃

爐管尺寸:Φ50,Φ60Φ80都可用

溫度控制器:30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

加熱區(qū)長度:440mm

功率:AC220V 4KW

等離子射頻電源:

輸出功率:50-500W可調(diào)+1%

•RF頻率: 13.56MHz,穩(wěn)定性+0.005%

噪聲:《55DB

冷卻:風(fēng)冷

輸入功率:1KW AC220V

真空泵和閥門:

采用KF25系列波紋管和精密針閥連接

真空度可達(dá)10-3torr

本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x1o-5 1125Torr不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

質(zhì)子流量計:

內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計可準(zhǔn)確的控制氣體流量

氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%

一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥

不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入

進(jìn)氣口:采用國際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭

外行尺寸:

爐體:550*380*520mm

供氣及真空系統(tǒng):600*600*597mm

凈重:120KG

開門斷電:

為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計

質(zhì)保期:

一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外,如加熱元件,密封圈等易耗件

使用注意事項:

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02Mpa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)



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