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OTF-1200X-SF含滑軌法蘭的管式爐--OTF-1200X-SF

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更新時間：2022-05-04 10:13:25瀏覽次數(shù)：142次

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上海添時科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm，帶有滑軌法蘭的管式爐，Z高工作溫度為1200℃，此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統(tǒng)而設(shè)計。

詳細(xì)介紹

OTF-1200X-4-SF是一款爐管尺寸為100mm，帶有滑軌法蘭的管式爐，高工作溫度為1200℃，此款管式爐專為客戶自己搭建CVD系統(tǒng)而設(shè)計。

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)	爐管尺寸：100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL（石英管）高工作溫度為1100℃ 右端安裝有一水冷滑軌法蘭，以便于放樣和取樣在預(yù)熱爐體和主反應(yīng)爐體之間有一水冷法蘭左端水冷法蘭上有個氣體接口，用于客戶通入反應(yīng)氣體
電源	單相, 220V AC, 50/60 Hz
大功率	3.6KW（需要20A的空氣開關(guān)）
加熱區(qū)	主反應(yīng)爐：440mm 恒溫區(qū)：100mm
溫控系統(tǒng)	采用PID方式來調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序采用K型熱電偶控溫精度：+/- 1℃ 可選購控溫軟件，可通電腦來設(shè)置和顯示溫度程序
密封法蘭	右端法蘭：水冷卻法蘭，通過冷卻循環(huán)水對密封圈進(jìn)行水冷（可在本公司購買循環(huán)水冷機(jī)）法蘭上有KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接爐體內(nèi)的樣品臺與法蘭相連接，并且右端法蘭為滑軌法蘭，以便于放樣和取樣法蘭上安裝有一數(shù)顯防腐真空計（如下圖）
凈重	100kg
尺寸	右端法蘭關(guān)閉時的尺寸：1220mm×458mm×585mm（48"L X 18"W X 23"H）右端法蘭打開時的大尺寸：1676mm×458mm×585mm（66"L X 18"W X 23"H）
質(zhì)保	一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包含爐管、密封圈和加熱元件）
質(zhì)量認(rèn)證	質(zhì)量認(rèn)證所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過了UL認(rèn)證本公司所有高溫爐都可通過TUV、UL或CSA認(rèn)證
注意事項	爐管內(nèi)氣壓（相對氣壓）需小于0.02MPa 所用氣瓶上必須安裝減壓閥（可在本公司購買減壓閥）當(dāng)設(shè)備溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)部不可處于真空狀態(tài)，需處于常壓或微正壓狀態(tài) 進(jìn)氣流量需小于200sccm