鳳鳴亮半導(dǎo)體晶元片非接觸厚度激光檢測儀

一、概述：

半導(dǎo)體晶元片非接觸厚度激光檢測儀具有，在線，動態(tài)，非接觸，無損傷，高精度的測厚功能，并且，這種設(shè)備對人與環(huán)境都無污染無傷害（無需作環(huán)評）測量范圍廣泛，可用于檢測半導(dǎo)體晶元片的厚度，和各種金屬制品生產(chǎn)線、塑料膜擠出、嵌鑲板、壓模木板、地毯、PVC、橡膠壓制等生產(chǎn)線。測量不受灰塵、振動等外界環(huán)境的影響。對于被測材料的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和表面是否平整沒有要求。

二、應(yīng)用背景：

非接觸式測厚儀顧名思義就是測量儀器與被測物體之間是無接觸就可測量厚度的，能夠很好的保護(hù)所測物體。在工業(yè)生產(chǎn)中多用來連續(xù)測量產(chǎn)品的厚度（如半導(dǎo)體晶元片，鋼板、鋼帶、紙張、涂層、板材、薄膜、片材等）。非接觸式測厚儀有激光測厚儀、電渦流測厚儀，根據(jù)應(yīng)用不同，又可分為薄膜測厚儀，鍍層測厚儀和板材測厚儀激光測厚儀 激光在線測厚儀是新一代研制的在線、動態(tài)，非接觸式的測厚儀。它集激光技校，光電檢測技校和計(jì)算機(jī)工業(yè)控制技術(shù)三者于一身，可廣泛用于生產(chǎn)線上對各種材料的厚度進(jìn)行在線的實(shí)時測厚，是我國工業(yè)生產(chǎn)線產(chǎn)品質(zhì)量控制的重要設(shè)備。 主要技術(shù)特點(diǎn)： 非接觸式、在線測厚 采樣速度快（達(dá)：10000個/秒）、精度高，工作穩(wěn)定，操作簡單 厚度范圍0～30mm（或可按要求設(shè)定范圍） 精度高可達(dá)2um。 主要應(yīng)用領(lǐng)域： 電池行業(yè)，防水卷材，橡膠、壓延冷軋鋼銅鋁板帶行業(yè)、朔料薄膜生產(chǎn)行業(yè)、機(jī)械、輕工等行業(yè)。激光測厚儀在工業(yè)生產(chǎn)中多用來連續(xù)測量產(chǎn)品的厚度。由于其種類繁多，在各個領(lǐng)域都有

LTG-680型在線激光測厚儀是一個非接觸式的板材，帶材，片材，卷材的厚度測量系統(tǒng)，控制材料厚度在工業(yè)生產(chǎn)中非常重要，LTG-680型在線激光測厚系統(tǒng)可以用較少的時間來確保這一功能的實(shí)現(xiàn)，系統(tǒng)會在產(chǎn)品不合格的情況下立即發(fā)出聲和光的警報(bào)來提高產(chǎn)品的質(zhì)量以減少廢品，這種強(qiáng)大的程序監(jiān)控系統(tǒng)既可以增加產(chǎn)量同時也節(jié)約了原材料和能源。

LTG-680型在線激光測厚儀運(yùn)用*的激光三角測量技術(shù)并采用非接觸可掃描方法進(jìn)行測厚，10KHz的高速取樣頻率和0.0001mm的高分辨率，這種方法較之前的接觸式測厚更值得信賴并且維修費(fèi)低，另外有一個好處是沒有產(chǎn)品標(biāo)記或壓迫，激光主機(jī)安裝在我們*的一個安裝支架上，免維修且不需要對光學(xué)主機(jī)進(jìn)行日常的清理，也不需要進(jìn)行頻繁的校準(zhǔn)，即使在高速運(yùn)作和持續(xù)生產(chǎn)的情況下，激光技術(shù)可以保證不存在盲區(qū)，可以進(jìn)行點(diǎn)到點(diǎn)的*測厚。以Windows為基礎(chǔ)的系統(tǒng)軟件有很多的設(shè)置功能，實(shí)時圖像顯示，顯示每塊面板，警報(bào)特征，厚度趨勢圖，產(chǎn)品庫以及用戶數(shù)據(jù)庫，另外產(chǎn)品統(tǒng)計(jì)也可以根據(jù)需求進(jìn)行編寫呈現(xiàn)或打印。該系統(tǒng)已經(jīng)實(shí)施過十多年，在電池/電容行業(yè)和各種面板生產(chǎn)工廠，壓延冷軋金屬板帶生產(chǎn)廠，塑料薄膜，玻璃纖維生產(chǎn)廠中的不同應(yīng)用， 包括很多的壓力機(jī)既有單種類型的也有多種開放類型的，也有在磨砂機(jī)后或在精整作業(yè)線上的。 

 三、產(chǎn)品優(yōu)勢:

• 任何速度下都高精度 。

• 非接觸式，高精度，低維修

• 表面無標(biāo)記

• 可測量薄板、卷材、板材

• 產(chǎn)量高

• 能適應(yīng)惡劣環(huán)境

LTG-680型在線激光測厚系統(tǒng)在惡劣環(huán)境下能保持高精準(zhǔn)度和低維修，在提供激光在線測厚系統(tǒng)方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，根據(jù)不同的應(yīng)用，LTG-680型在線激光測厚系統(tǒng)可以進(jìn)行配置高性能的空氣凈化系統(tǒng)保持干凈和通風(fēng)來適應(yīng)悶熱和潮濕的環(huán)境。

達(dá)到高精準(zhǔn)度不僅僅是運(yùn)用精準(zhǔn)度高的激光光學(xué)主機(jī)那么簡單，機(jī)械設(shè)計(jì)同樣非常重要，光學(xué)主機(jī)安裝支架運(yùn)用了低膨脹系數(shù)的材料和關(guān)鍵部位的應(yīng)力消除通過退火的方式來減少熱變形。這樣就會形成一個穩(wěn)定的測量系統(tǒng)而不需要頻繁的調(diào)整，在大部分的生產(chǎn)線，物料會發(fā)生振動，我們有一個系統(tǒng)可以不受振動的影響并且精準(zhǔn)度高，這個是通過測量不同厚度和高速記錄采樣，頻率為10KHz赫茲的探頭來實(shí)現(xiàn)的。

聯(lián)人（墊）：one three six five two three one one six zero one

四、典型應(yīng)用：

LTG-680型在線激光測厚系統(tǒng)是一個高精準(zhǔn)度的非接觸式厚度測量儀器。不管是測量軟木板還是硬木板，厚的還是薄的都可以提供高精準(zhǔn)度的測量。

典型應(yīng)用及其精度：

典型應(yīng)用的技術(shù)參數(shù)（人造板行業(yè)應(yīng)用）:

測量范圍：0.1-30mm

測量精度：±0.02mm

分辨率：0.001mm

  取樣頻率：10000Hz

工作溫度：0-35ºC

波長：650nm

激光等級： 3B

防護(hù)等級：IP67

線性度：±0.05%

典型應(yīng)用的技術(shù)參數(shù)（鋁箔、銅箔、鋁電池極片行業(yè)應(yīng)用）：

測量激光波長：650nm可見光ClassⅡ（FDA）

激光功率：10mW max

激光線性度：±0.05% F.S

分辨率：100nm（測量范圍10mm）

測量精度：±2μm

測量頻率：10KHz

輸出信號：RS232

輸入電源：115-230VAC 50/60Hz 200VA

掃描速度：0-200mm/s

數(shù)字輸入控制：掃描、校準(zhǔn)、復(fù)位

軟件環(huán)境：專有測量軟件進(jìn)行系統(tǒng)控制、數(shù)據(jù)處理及存儲

測量范圍：0-6mm（系統(tǒng)設(shè)計(jì)時可選）

單C型架進(jìn)深：長度可至680 mm

測量范圍：0 mm≤厚≤32mm；0 mm≤寬≤680mm