油封式機(jī)械真空泵是用油來保持運(yùn)動(dòng)部件的密封、靠泵腔容積變化而實(shí)現(xiàn)抽氣的機(jī)械真空泵。工作原理是使泵腔工作室容積機(jī)械地增大和縮小而抽氣。當(dāng)泵腔內(nèi)工作室容積變得小時(shí)，與泵的入口管道連通，于是氣體進(jìn)入泵吸入腔，一直到吸入腔容積大并重新與進(jìn)氣口分開時(shí)為止。當(dāng)容積減少時(shí)，氣體被壓縮，直到氣體的壓力大于一個(gè)大氣壓，排氣閥被打開，將氣體排出。油封式機(jī)械真空泵按結(jié)構(gòu)型式可分為定片式、旋片式和滑閥式三種。他們都是利用真空泵油來潤滑、密封和降溫；都是靠轉(zhuǎn)子在泵殼內(nèi)運(yùn)動(dòng)使轉(zhuǎn)子、葉片、泵殼之間的容積周期性變化，以達(dá)到抽氣和排氣的目的。

一、定片式真空泵

其結(jié)構(gòu)簡單且使用壽命長，檢修容易，雙級(jí)泵的極限真空度可達(dá)10–3Torr，但抽速較小，應(yīng)用很少。

二、普諾克旋片式真空泵

分為單級(jí)旋片式真空泵（由定子、旋片、轉(zhuǎn)子等組成，只有一個(gè)工作室）和雙級(jí)旋片式真空泵（它由兩個(gè)工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉(zhuǎn)，Ⅰ室為Ⅱ室的前級(jí)）。

三、滑閥式真空泵

主要由泵體及內(nèi)部做偏心轉(zhuǎn)動(dòng)的滑閥部件、半圓形的滑閥導(dǎo)軌、排氣閥、軸等組成。

不管是油封式真空泵還是干式真空泵，在抽除可凝性氣體的過程中，一旦被抽氣體的壓力超過當(dāng)時(shí)該氣體的飽和蒸氣壓，就會(huì)出現(xiàn)可凝性氣體的凝結(jié)現(xiàn)象。而油封式真空泵因?yàn)楸们粌?nèi)有潤滑油的存在，當(dāng)出現(xiàn)可凝性氣體凝結(jié)的時(shí)候，凝結(jié)液化的氣體一方面會(huì)造成泵油污染，久而久之就會(huì)發(fā)生泵油乳化，使之失去潤滑保護(hù)作用；另一方面凝結(jié)后的氣體在返回低壓端的時(shí)候會(huì)重新蒸發(fā)，造成真空泵的真空性能及抽氣效率下降。氣鎮(zhèn)就是為解決油封式真空泵的這種現(xiàn)象而設(shè)置的。

油封式真空泵的工作原理較為簡單，即在可凝性氣體的分壓要超過該氣體的飽和蒸氣壓而泵腔內(nèi)的整體壓力卻未達(dá)排氣壓力時(shí)，通過氣鎮(zhèn)適時(shí)地充入干燥性氣體，使泵腔內(nèi)的整體壓力提前達(dá)到排氣壓力，進(jìn)行排放，進(jìn)而阻止可凝性氣體凝結(jié)。排放過程中，充入的久性氣體也會(huì)隨原有泵腔內(nèi)的氣體一同排出。

以上就是氣鎮(zhèn)在油封式真空泵中所起的作用。但即使是有氣鎮(zhèn)的存在，油封式真空泵也只是適合抽除一定量的可凝性氣體的介質(zhì)環(huán)境，一旦大量出現(xiàn)，效率就無法保證。而干式真空泵也有可能出現(xiàn)氣體凝結(jié)的現(xiàn)象，但由于干式真空泵中沒有泵油，因此對(duì)可凝性氣體的抽除性能要優(yōu)于各類油封式真空泵。