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上海泰懇翠儀器有限公司


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RELCO CR300在線濃度儀在濕電子半導體應用

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參   考   價: ￥ 165000

訂  貨  量: ≥1 套

具體成交價以合同協(xié)議為準

產品型號

品       牌其他品牌

廠商性質代理商

所  在  地上海市

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更新時間：2025-04-30 16:10:43瀏覽次數：58次

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經營模式：代理商

商鋪產品：54條

所在地區(qū)：上海上海市

聯系人：呂經理 （銷售工程師）

產品簡介
測量范圍 0.0-100.0% 測量精度 0.1%
產地 進口 產品種類 在線
數顯功能 有 溫控功能 有

RELCO CR300在線濃度儀在濕電子半導體應用，基于光學折射率檢測，實時測量濕電子化學品（如顯影液、蝕刻液）的濃度，精度達 ?±0.1%?，覆蓋 ?0.00-90.00%? 的寬范圍測量需求，適配半導體工藝中不同化學品的配比要求。

詳細介紹

RELCO CR300在線濃度儀在濕電子化學品半導體產業(yè)的應用

RELCO CR300在線濃度儀在濕電子半導體應用

一、核心技術適配性
臨界角折光原理?
基于光學折射率檢測，實時測量濕電子化學品（如顯影液、蝕刻液）的濃度，精度達 ?±0.1%?，覆蓋 ?0.00-90.00%? 的寬范圍測量需求，適配半導體工藝中不同化學品的配比要求。
內置溫度補償功能（10-140℃），消除設備運行或環(huán)境溫度波動對測量結果的影響，確保高溫反應釜或低溫存儲場景下的數據可靠性。
工業(yè)級數據安全?
采用 ?AES-128加密? 與 ?CRC校驗? 技術，保障濃度數據傳輸安全性，符合半導體行業(yè)對工藝參數保密性的嚴格要求。
二、半導體產業(yè)應用場景
濕電子化學品濃度控制?
部署于光刻膠稀釋系統(tǒng)或清洗液循環(huán)管道，實時監(jiān)控 ?顯影液、剝離液、氫氟酸? 等關鍵化學品的濃度，確保工藝穩(wěn)定性與良品率。
聯動自動補液裝置，動態(tài)調整濃度偏差（如顯影液濃度誤差控制在±0.2%以內），減少因配比誤差導致的晶圓缺陷。
超純水系統(tǒng)監(jiān)控?
集成至超純水制備環(huán)節(jié)，檢測微量化學添加劑（如氨水、異丙醇）的殘余濃度，輔助維持超純水的電導率與雜質指標達標。
三、行業(yè)適配優(yōu)勢
耐腐蝕材質?：傳感器采用 ?PFA+Sapphire，耐受氫氟酸、硫酸等強腐蝕性化學品的長期侵蝕。
抗干擾設計?：全屏蔽結構應對半導體車間的高電磁干擾環(huán)境，長期穩(wěn)定性達 ?±0.2%/年?。
非侵入式安裝?：無需切割管道，避免污染敏感化學品，適配潔凈車間的高衛(wèi)生標準。
四、典型案例參考
某12英寸晶圓廠?：在光刻膠稀釋產線部署CR300，顯影液濃度波動降低至±0.15%，光刻線寬均勻性提升8%。
封裝基板電鍍產線?：通過CR300動態(tài)調節(jié)電鍍液添加劑濃度，金屬沉積均勻性提高10%，減少微孔缺陷。
（注：具體配置需結合化學品類型、工藝溫度等參數，建議參考廠商技術文檔。）


關鍵詞：反應釜 傳感器
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