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行業(yè)產(chǎn)品

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上海泰懇翠儀器有限公司


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RELCO CR300在線濃度儀在濕電子半導(dǎo)體應(yīng)用

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參   考   價: ￥ 165000

訂  貨  量: ≥1 套

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：呂經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2025-04-30 16:10:43瀏覽次數(shù)：94次

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經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：54條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：呂經(jīng)理 （銷售工程師）

產(chǎn)品簡介
測量范圍 0.0-100.0% 測量精度 0.1%
產(chǎn)地 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 在線
數(shù)顯功能 有 溫控功能 有

RELCO CR300在線濃度儀在濕電子半導(dǎo)體應(yīng)用，基于光學(xué)折射率檢測，實(shí)時測量濕電子化學(xué)品（如顯影液、蝕刻液）的濃度，精度達(dá) ?±0.1%?，覆蓋 ?0.00-90.00%? 的寬范圍測量需求，適配半導(dǎo)體工藝中不同化學(xué)品的配比要求。

詳細(xì)介紹

RELCO CR300在線濃度儀在濕電子化學(xué)品半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用

RELCO CR300在線濃度儀在濕電子半導(dǎo)體應(yīng)用

一、核心技術(shù)適配性
臨界角折光原理?
基于光學(xué)折射率檢測，實(shí)時測量濕電子化學(xué)品（如顯影液、蝕刻液）的濃度，精度達(dá) ?±0.1%?，覆蓋 ?0.00-90.00%? 的寬范圍測量需求，適配半導(dǎo)體工藝中不同化學(xué)品的配比要求。
內(nèi)置溫度補(bǔ)償功能（10-140℃），消除設(shè)備運(yùn)行或環(huán)境溫度波動對測量結(jié)果的影響，確保高溫反應(yīng)釜或低溫存儲場景下的數(shù)據(jù)可靠性。
工業(yè)級數(shù)據(jù)安全?
采用 ?AES-128加密? 與 ?CRC校驗(yàn)? 技術(shù)，保障濃度數(shù)據(jù)傳輸安全性，符合半導(dǎo)體行業(yè)對工藝參數(shù)保密性的嚴(yán)格要求。
二、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)應(yīng)用場景
濕電子化學(xué)品濃度控制?
部署于光刻膠稀釋系統(tǒng)或清洗液循環(huán)管道，實(shí)時監(jiān)控 ?顯影液、剝離液、氫氟酸? 等關(guān)鍵化學(xué)品的濃度，確保工藝穩(wěn)定性與良品率。
聯(lián)動自動補(bǔ)液裝置，動態(tài)調(diào)整濃度偏差（如顯影液濃度誤差控制在±0.2%以內(nèi)），減少因配比誤差導(dǎo)致的晶圓缺陷。
超純水系統(tǒng)監(jiān)控?
集成至超純水制備環(huán)節(jié)，檢測微量化學(xué)添加劑（如氨水、異丙醇）的殘余濃度，輔助維持超純水的電導(dǎo)率與雜質(zhì)指標(biāo)達(dá)標(biāo)。
三、行業(yè)適配優(yōu)勢
耐腐蝕材質(zhì)?：傳感器采用 ?PFA+Sapphire，耐受氫氟酸、硫酸等強(qiáng)腐蝕性化學(xué)品的長期侵蝕。
抗干擾設(shè)計?：全屏蔽結(jié)構(gòu)應(yīng)對半導(dǎo)體車間的高電磁干擾環(huán)境，長期穩(wěn)定性達(dá) ?±0.2%/年?。
非侵入式安裝?：無需切割管道，避免污染敏感化學(xué)品，適配潔凈車間的高衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。
四、典型案例參考
某12英寸晶圓廠?：在光刻膠稀釋產(chǎn)線部署CR300，顯影液濃度波動降低至±0.15%，光刻線寬均勻性提升8%。
封裝基板電鍍產(chǎn)線?：通過CR300動態(tài)調(diào)節(jié)電鍍液添加劑濃度，金屬沉積均勻性提高10%，減少微孔缺陷。
（注：具體配置需結(jié)合化學(xué)品類型、工藝溫度等參數(shù)，建議參考廠商技術(shù)文檔。）


關(guān)鍵詞：反應(yīng)釜 傳感器
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