超純水設(shè)備系統(tǒng)主要工藝介紹

超純水的電阻率大于18MΩ*cm或接近18.3MΩ*cm極限值，其幾乎不含導(dǎo)電介質(zhì)，并且水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物也被去除至很低的程度。目前，超純水設(shè)備主要應(yīng)用于微電子、電力、光電、光伏、半導(dǎo)體、實(shí)驗(yàn)室以及其他領(lǐng)域。

為滿足用戶用水需求，持續(xù)獲得符合要求的產(chǎn)水水質(zhì)，盡可能減少各環(huán)節(jié)的水質(zhì)污染，超純水系統(tǒng)在工藝設(shè)計(jì)上大致分為預(yù)處理、反滲透、離子交換和終端處理四大步驟。預(yù)處理系統(tǒng)將原水初級(jí)凈化，再設(shè)有反滲透（RO）生產(chǎn)純水，連續(xù)電去離子（EDI ）裝置或離子交換混床系統(tǒng)產(chǎn)水超純水，在終端處理及輸送環(huán)節(jié)采用拋光混床或者終端超濾方式有效去除各種殘余雜質(zhì)，確保產(chǎn)水的高純水符合相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)。

超純水主流的處理工藝包括以下三種：

（1）預(yù)處理（多介質(zhì)過(guò)濾器+活性炭過(guò)濾器）→單級(jí)RO→再生混床→拋光混床

（2）預(yù)處理（多介質(zhì)過(guò)濾器+軟化器+活性炭過(guò)濾器）→單級(jí)RO→EDI→拋光混床

（3）預(yù)處理（疊片式過(guò)濾器+超濾）→雙級(jí)RO→EDI→拋光混床→終端超濾

其中，多介質(zhì)過(guò)濾器內(nèi)合理填充精制石英砂等填料，主要作用是將原水中的懸浮物及一些雜質(zhì)去除；

活性炭過(guò)濾器具有濾色、除臭、吸附有機(jī)物雜質(zhì)等作用，能夠去除水中游離余氯，使得預(yù)處理出水符合RO膜的進(jìn)水水質(zhì)要求；

軟化器采用可再生型陽(yáng)離子交換樹(shù)脂為濾料，主要作用是降低原水的硬度，防止反滲透膜的表面結(jié)垢，另外，可根據(jù)運(yùn)行時(shí)間使用氯化鈉對(duì)離子交換樹(shù)脂進(jìn)行再生；

超濾利用多孔性不對(duì)稱的膜結(jié)構(gòu)，以膜兩側(cè)壓力差為驅(qū)動(dòng)力，將溶液分離，以提高出水水質(zhì)，產(chǎn)水SDI小于3；

反滲透系統(tǒng)（RO）利用膜的選擇透過(guò)性的特點(diǎn)，以膜兩側(cè)壓力差的驅(qū)動(dòng)力。其工作原理為進(jìn)水經(jīng)過(guò)產(chǎn)水流道流入中心管，在一端流出匯入產(chǎn)水管道。在膜的進(jìn)水側(cè)將進(jìn)水中雜質(zhì)進(jìn)行截留，然后在濃水出水端流出，從而起到分離凈化的效果。

連續(xù)電去離子（EDI）通常安裝在反滲透系統(tǒng)（RO）后，對(duì)RO產(chǎn)水進(jìn)行二次除鹽。EDI技術(shù)是電滲析和離子交換樹(shù)脂除鹽技術(shù)相結(jié)合的新型分離技術(shù)，可連續(xù)運(yùn)作工作，不需要加酸堿，沒(méi)有化學(xué)再生，而且它的體積較小，操作和管理方便，運(yùn)行費(fèi)用低。

拋光混床通常設(shè)在工藝末端，利用的是沒(méi)有化學(xué)物質(zhì)析出的核子級(jí)樹(shù)脂，可將純水中殘余的微量帶電離子及弱電解質(zhì)有效去除，使得產(chǎn)水水質(zhì)能夠符合超純水的標(biāo)準(zhǔn)。

終端超濾用在終端供水環(huán)節(jié)，相當(dāng)于純化水系統(tǒng)最后的“防火墻”，將水中殘余的雜質(zhì)去除，產(chǎn)水顆粒（＞0.05μm）＜1個(gè)/ml。

超純水設(shè)備具有自動(dòng)化程度高、出水質(zhì)量高、占地面積小、資金投入合理等特點(diǎn)，深受工業(yè)企業(yè)的歡迎。