典型渦輪泵應(yīng)用
安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設(shè)計(jì)旨在實(shí)際應(yīng)用中達(dá)到*性能。泵的緊湊型設(shè)計(jì)滿足工業(yè)中的嚴(yán)苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護(hù)，并可避免錯(cuò)誤使用。無(wú)論您是終端用戶還是原始設(shè)備制造商，安捷倫均可針對(duì)您的應(yīng)用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應(yīng)用
| 領(lǐng)域 | 詳細(xì)說(shuō)明 | 應(yīng)用 |
| 質(zhì)譜和分析儀器 | - 針對(duì)質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器
- 具有多入口泵組的定制泵
- 低成本、易于使用、高分析性能
- 對(duì)于 GC/MS，提供用于相對(duì)低氣體載荷環(huán)境的 1 個(gè)真空室和用于分析無(wú)機(jī)樣品的中等真空接口
- 對(duì)于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng)
- 對(duì)于 ICP-MS，提供多種真空系統(tǒng)，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池
- 對(duì)于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設(shè)備
| - 質(zhì)譜
- GC/MS
- LC/MS
- ICP-MS
- TOF
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| 科研中的真空應(yīng)用 | - 非常清潔、可靠和高性價(jià)比的 HV 和 UHV
- 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染
- 高速和高壓縮
- 可以以任意角度安裝
- 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
| - 高能物理
- 融合技術(shù)
- 一般 UHV 研究
- 同步光源粒子加速器
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| 工業(yè)真空加工 | - 為薄膜沉積應(yīng)用而專門設(shè)計(jì)的集成分子泵解決方案
- 適用于原始設(shè)備制造商和終端用戶的專業(yè)性能
- 適用于具有預(yù)真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵
| 薄膜沉積： - 玻璃涂層設(shè)備（建筑和汽車玻璃，平板顯示器）
- 薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)（光電）
- 光學(xué)數(shù)據(jù)介質(zhì)（CD、DVD、磁光光盤(pán)）
- 磁性存儲(chǔ)介質(zhì)
- 表面處理
- 光學(xué)涂層（眼科、精密光電）
- 膜或箔上的輥式/卷繞涂覆
設(shè)備加工： - 生產(chǎn)電視機(jī)和顯示器顯像管
- 疏散燈（高速公路照明、投影機(jī)）
- X 射線管和電子設(shè)備
一般工藝： |
| 納米技術(shù)儀器 | - 分析從有機(jī)化合物到半導(dǎo)體晶片等各類物質(zhì)
- 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴(yán)苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng)
- 低振動(dòng)渦旋泵適用于zui敏感的顯微分析
- 可快速、無(wú)油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體
- 集成的泵控制器可靈活進(jìn)行控制，幾乎不生成電磁噪音
- 非常適合為半導(dǎo)體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境
- 高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導(dǎo)體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體（He、H）
- 符合高速循環(huán)應(yīng)用的嚴(yán)格要求，例如真空裝載鎖
- 通過(guò)對(duì)多個(gè)渦旋泵聯(lián)用一個(gè)前級(jí)泵，可提高工具的可靠性
- 聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體
- 安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設(shè)備放置于遠(yuǎn)處
| - 電子顯微鏡（SEM、TEM）
- 聚焦離子束系統(tǒng) (FIB)
- 表面分析
- 半導(dǎo)體制造
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美國(guó)Agilent TwisTorr 304 FS渦輪分子泵性能指標(biāo)：
抽速：
使用 CFF 6 英寸或 ISO 100：使用 CFF 8 英寸或 ISO 160： |
N2：250 L/s
N2：250 L/s |
He：255 L/s He：255 L/s |
H2：220 L/s
H2：220 L/s |
Ar：250 L/s
Ar：250 L/s |
全轉(zhuǎn)速zui大氣載（使用推薦前級(jí)泵）
環(huán)境溫度 (25 °C)
水溫 (25 °C，50 L/h) | N2：170 sccm
N2：170 sccm | Ar：110 sccm
Ar：110 sccm | | |
| 壓縮比與前級(jí)壓力關(guān)系： | N2：> 1 × 1011
N2：> 10 mbar | He：> 1 × 108
H2：> 10 mbar | H2：1.5 × 106
H2：> 4 mbar | Ar：> 1 × 1011
Ar：> 10 mbar |
| 極限真空*（使用推薦的前級(jí)泵） (5 m3/h) | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | | | |
| 抽氣口法蘭 | 8 英寸外徑 CFF
2.6 英寸外徑 CFF | ISO 160
ISO 100 | | |
| 前級(jí)管道法蘭 | KF 16 NW（KF25 — 可選） | | | |
| 轉(zhuǎn)速 | 60000 rpm（1010 Hz 驅(qū)動(dòng)頻率） | | | |
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 小于 3 分鐘 | | | |
| 推薦的前級(jí)泵 | 機(jī)械：Agilent DS 102
干泵：Agilent SH 110 | | | |
| 工作位置 | 任意 | | | |
| 操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | | | |
| 空氣相對(duì)濕度 | 0%–90%（無(wú)冷凝） | | | |
| 烘烤溫度 | 抽氣口法蘭zui高溫度 120 °C（CFF 法蘭）抽氣口法蘭zui高溫度 80 °C（ISO 法蘭） | | | |
| 潤(rùn)滑油 | yognjiu性潤(rùn)滑 | | | |
| 冷卻要求 | 風(fēng)扇冷卻（環(huán)境溫度 5–35 C）
水冷（如果環(huán)境高于 35 ℃，需強(qiáng)制水冷） | | | |
| 冷卻水 | zui小流速：
50 L/h (0.89 GPM) | 溫度：
+15 ℃ 至 +30 ℃ | 壓力：
3 至 5 bar（45 至 75 psi） | |
| 噪聲聲壓級(jí) | 在 1 米處，< 50 dB(A) | | | |
| 儲(chǔ)存溫度 | -40 °C 至 +70 °C | | | |
| zui高海拔 | 3000 m | | | |
| 重量 kg（磅）： | 泵 ISO 100：
5.5 (12.3) | 泵 CFF 6 英寸：
7.5 kg (16.5) | 泵 ISO 160：
5.7 kg (12.6) | 泵 CFF 8 英寸：
9.7 kg (20.9) |
高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動(dòng)技術(shù)和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟(jì)性。TwisTorr 拖動(dòng)技術(shù)對(duì)小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實(shí)現(xiàn)大抽氣量和高前級(jí)耐壓，進(jìn)而能使用更經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、更小型的前級(jí)泵。該技術(shù)使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設(shè)計(jì)，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動(dòng)，并能保證*的軸承工作條件，從而能延長(zhǎng)工作壽命，zui大程度縮短系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并能確保長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 304 FS 泵*的軸承和干式潤(rùn)滑劑設(shè)計(jì)，使得泵無(wú)需泵油和維護(hù)，能夠以任意方向安裝。可選擇一體式控制器或機(jī)架控制器。
美國(guó)Agilent TwisTorr 304 FS渦輪分子泵特性：
創(chuàng)新的 TwisTorr 技術(shù) — 對(duì)小分子氣體能提供高壓縮比，而非常小巧的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)則實(shí)現(xiàn)了高性能和zui小的系統(tǒng)占用空間。
高前級(jí)耐壓 — 允許使用更小的前級(jí)泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。
安捷倫懸浮軸承系統(tǒng) — 低振動(dòng)，低噪音，*的軸承工作條件，延長(zhǎng)泵的使用壽命，實(shí)現(xiàn)使用維護(hù)成本優(yōu)化，zui大程度減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間，并保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定的抽氣性能。
*的軸承和干式潤(rùn)滑劑 — 免維護(hù)、免油，實(shí)現(xiàn)任意角度安裝。
銅制水冷通道（可選） — 可避免腐蝕，優(yōu)化熱傳遞性能，降低用水量和使用維護(hù)成本。
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