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可任意設(shè)定流向進(jìn)行測(cè)量 正向 雙向 反方向
潔凈規(guī)格 標(biāo)準(zhǔn)備有防微粒產(chǎn)生包裝 （P70）、
表示精度：±3%F.S.以內(nèi) 響應(yīng)時(shí)間：50msec
高精度·高響應(yīng) 重復(fù)精度：±1%F.S.以內(nèi)
可進(jìn)行雙向流體測(cè)量 有效縮短間隔時(shí)間
降低壓力損失 通過(guò)流路再設(shè)計(jì)多降低50%
禁油規(guī)格（P80），可根據(jù)裝置的級(jí)別區(qū)分使用。
技術(shù)參數(shù)：
2次側(cè)大氣開(kāi)放基準(zhǔn)） ±5%F.S.以內(nèi) （0～0.75MPa、0.35MPa基準(zhǔn)）
使用條件 適用流體 清潔空氣 （JIS B 8392-1:2012  1.1.1～5.6.2）、
壓縮空氣（JIS B 8392-1:2012  1.1.1～1.6.2）、氮?dú)?br />±3%F.S.以內(nèi) （2次側(cè)大氣開(kāi)放） （范圍取決于“測(cè)量流量范圍”）
溫度范圍 0～50℃ （不得結(jié)露） 壓力范圍 -0.07～0.75MPa 0～0.75MPa
重復(fù)精度 注7 ±1%F.S.以內(nèi) （2次側(cè)大氣開(kāi)放） 溫度特性 ±0.2%F.S./℃以內(nèi)
（15～35℃、25℃基準(zhǔn)） 壓力特性 ±5%F.S.以內(nèi) （-0.07～0.75MPa、
耐壓力 1MPa 使用環(huán)境溫度·濕度 0～50℃、90％RH以下
保存溫度 -10～60℃ 精度   注5 （流體：干燥空氣）測(cè)量精度 注6

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選型注意：
根據(jù)安裝位置的不同，支撐件可能會(huì)與彎管型接頭發(fā)生干涉，
選型時(shí)請(qǐng)通過(guò)外形尺寸圖確認(rèn)G螺紋的連接形狀。
在潔凈工作環(huán)境（1000級(jí)以上） 內(nèi)用防靜電袋熱封包裝。
連接后請(qǐng)務(wù)必確認(rèn)有無(wú)脫落或外部泄漏。
彎管接頭向下安裝時(shí)會(huì)干擾DIN導(dǎo)軌安裝，敬請(qǐng)注意。

帶單位切換機(jī)型不能在日本國(guó)內(nèi)銷售。
產(chǎn)品附帶選擇項(xiàng)部件。未預(yù)先組裝。 包裝前對(duì)產(chǎn)品表面進(jìn)行脫脂，
除了P70規(guī)格以外，對(duì)氣體接觸部進(jìn)行脫脂清洗。
可通過(guò)接頭與電磁閥（EXA系列）連接。
EXA請(qǐng)務(wù)必安裝在本產(chǎn)品的OUT側(cè)。EXA的線圈選擇項(xiàng)請(qǐng)使用導(dǎo)線型。
DIN端子箱型的端子箱會(huì)發(fā)生干涉，因此無(wú)法安裝。

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