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行業(yè)產(chǎn)品

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株洲紅亞電熱設備有限公司


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化學氣相沉積石墨化一體爐 高溫燒結爐

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質0

所  在  地株洲市

聯(lián)系方式：言亞軍查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-10-04 09:35:24瀏覽次數(shù)：771次

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經(jīng)營模式：

商鋪產(chǎn)品：34條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：言亞軍 （總經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

本化學氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的復合材料的化學氣相沉積，如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產(chǎn)。

詳細介紹

化學氣相沉積石墨化一體爐

化學氣相沉積石墨化一體爐特點：

采用多功能高溫設計，可實現(xiàn)化學氣相沉積和石墨化處理一次性完成。

使用溫度高達2600，并可長時間穩(wěn)定可靠運行。

采用熱電偶和紅外測溫儀組合的測溫自動轉換系統(tǒng)，可實現(xiàn)全溫度段的顯示和控制。

采用IGBT為主功率器件的感應加熱變頻控制系統(tǒng)，使得設備節(jié)能省電，諧波分量小，對外部設備無干擾。

進出氣體的精確流量顯示和控制，保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

采用特殊結構沉積室，密封效果好，抗污染能力強； 

采用多通道沉積氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

特制的過濾系統(tǒng)，對炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機氣體等能進行有效處理；

技術參數(shù)：

參數(shù)

型號

HYSJL-3040

HYSJL-4050

HYSJL-5060

HYSJL-6080

HYSJL-8080

工作區(qū)尺寸DXH（mm)

Ф300X

400

Ф400X

500

Ф500X

600

Ф600X

800

Ф800X

800

工作溫度（℃）

1500

2600

1500

2600

1500

2600

1500

2600

1500

2600

溫度均勻性（℃）

±7.5

±7.5

±7.5

±7.5

±7.5

工作電壓(V)

三相380

額定功率（KW)

40

80

60

150

80

160

90

200

160

350

工作氣氛

真空/氬氣/氮氣/氫氣/炳烷/石油天然氣

以上化學氣相沉積爐技術參數(shù)可根據(jù)工藝參數(shù)進行調整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術方案和協(xié)議為準?？蓪⒒瘜W氣相沉積和高溫石墨化兩種功能分開，單獨做成化學氣相沉積爐和高溫石墨化爐。


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