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韋氏納米系統(tǒng)(深圳)有限公司


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(高)真空快速退火爐RTP-100

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產(chǎn)品型號(hào)RTP-100

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式:劉先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2018-09-14 14:08:35瀏覽次數(shù):527次

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經(jīng)營(yíng)模式:代理商

商鋪產(chǎn)品:31條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:劉先生 (總經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

德國(guó)優(yōu)尼藤專業(yè)致力于制造真空熱工藝處理設(shè)備,人性化的設(shè)計(jì),桌面型/空間緊湊。在世界各大*大學(xué)實(shí)驗(yàn)室,研究所等機(jī)構(gòu)廣泛應(yīng)用

詳細(xì)介紹

RTP-100/RTP-100-HV真空快速退火爐

應(yīng)用于4英寸的真空/高真空快速退火應(yīng)用。

 

 

應(yīng)用領(lǐng)域:

  • 離子注入/接觸退火;

  • 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);

  • 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同氣體氛圍環(huán)境下使用;

  • SiAu, SiAl, SiMo合金化;

  • 低介電材料;

  • 晶體化,致密化;

  • 太陽能電池片鍵合;

  • 電阻燒結(jié)

  • 其他熱工藝需求

  • 等等...

 

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

- 真空快速退火爐,有RTP-100型號(hào)    低真空(10-3 hPa)

                                  RTP-100-HV    高真空(10-6 hPa);

- 可應(yīng)用在不同氣氛環(huán)境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;

- 控制方式:SPS人機(jī)界面控制,7英寸觸摸屏控制;

- 可存儲(chǔ)50個(gè)程序,每個(gè)程序多分為50步驟控制;

- 全自動(dòng)智能控制,包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空度、冷卻水均可自動(dòng)設(shè)置;

- 優(yōu)異的溫控均勻性,的工藝重復(fù)性;

 

技術(shù)規(guī)格:

- 溫度高達(dá):1200℃;

- 升溫速率:150℃/秒;

- 降溫速度:200℃/分鐘 (1000℃-->400℃);

- 溫控均勻性:≤ 1.5%設(shè)定溫度;

- 加熱方式:紅外鹵素?zé)?,頂部及底部加熱,也可單?dú)控制加熱

- 燈管數(shù)量及功率:18支/20KW

- 腔體冷卻:水冷方式,獨(dú)立冷卻源

- 襯底冷卻:氮?dú)獯祾撸?/span>

- 工藝氣路:MFC控制,多4路 (氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氮混合氣?;

 


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