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行業(yè)產(chǎn)品

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韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司


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磁控濺射系統(tǒng)

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號GSC-1000

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地深圳市

聯(lián)系方式：劉先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2018-09-25 11:06:44瀏覽次數(shù)：543次

聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式：代理商

商鋪產(chǎn)品：31條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：劉先生 （總經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

磁控濺射技術(shù)
GSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述：
帶有水冷或者加熱（可加熱到700度）功能，大到6“旋轉(zhuǎn)平臺，大可支持到2個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

詳細(xì)介紹

磁控濺射技術(shù)

GSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述：

帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，大到6"旋轉(zhuǎn)平臺，大可支持到2個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

GSC-1000帶有10"派熱克鐘罩腔體，2個(gè)2"的磁控管，DC直流電源用于濺射金屬，并帶有膜厚監(jiān)測儀(選配)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

  • 不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔

  • 70l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵

  • 1KW DC直流電源

  • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片

  • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)控制

  • 帶密碼保護(hù)功能的多級訪問控制

  • *的安全聯(lián)鎖功能

    選配項(xiàng)：
    Thickness Monitor   膜厚監(jiān)測    		 

    應(yīng)   用：

    • SEM應(yīng)用

    • 濺射金屬，大到6"的晶圓片

  •  


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