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韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司


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所  在  地深圳市

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更新時(shí)間：2018-09-25 11:16:29瀏覽次數(shù)：429次

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商鋪產(chǎn)品：31條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：劉先生 （總經(jīng)理）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Minilock-Orion III是一套*的等離子增強(qiáng)型化學(xué)汽相沉積（PECVD）系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

Minilock-Orion III是一套*的等離子增強(qiáng)型化學(xué)汽相沉積(PECVD)系統(tǒng)。 系統(tǒng)的下電極尺寸可為200mm或300mm，且根據(jù)電極配置，可以處理單個(gè)基片或帶承片盤(pán)的基片(3”- 300mm尺寸)，或者多尺寸批處理基片(4x3”; 3x4”; 7x2”)。
Minilock-Orion III用于有毒/發(fā)火PECVD工藝。沉積薄膜：氧化物、氮氧化物、氮化物、無(wú)定形硅和碳化硅。工藝氣體：*硅烷、氨、TEOS、二乙基硅烷、*、氧、氮、*基硅烷和甲烷。
該系統(tǒng)可選配一個(gè)三極管（Triode）或電感耦合等離子(ICP)源。三極管源使得用戶(hù)可以創(chuàng)建高密度等離子，從而控制薄膜應(yīng)力。
基片通過(guò)預(yù)真空室裝入工藝室，其避免了與工藝室以及任意殘余沉積副產(chǎn)品接觸，從而提高了用戶(hù)的安全性。預(yù)真空室還使得工藝室始終保持在真空下，從而保持反應(yīng)室與大氣隔絕。

 

 

Minilock-Orion III是一套*的等離子增強(qiáng)型化學(xué)汽相沉積(PECVD)系統(tǒng)。 系統(tǒng)的下電極尺寸可為200mm或300mm，且根據(jù)電極配置，可以處理單個(gè)基片或帶承片盤(pán)的基片(3”- 300mm尺寸)，或者多尺寸批處理基片(4x3”; 3x4”; 7x2”)。
Minilock-Orion III用于有毒/發(fā)火PECVD工藝。沉積薄膜：氧化物、氮氧化物、氮化物、無(wú)定形硅和碳化硅。工藝氣體：*硅烷、氨、TEOS、二乙基硅烷、*、氧、氮、*基硅烷和甲烷。
該系統(tǒng)可選配一個(gè)三極管（Triode）或電感耦合等離子(ICP)源。三極管源使得用戶(hù)可以創(chuàng)建高密度等離子，從而控制薄膜應(yīng)力。
基片通過(guò)預(yù)真空室裝入工藝室，其避免了與工藝室以及任意殘余沉積副產(chǎn)品接觸，從而提高了用戶(hù)的安全性。預(yù)真空室還使得工藝室始終保持在真空下，從而保持反應(yīng)室與大氣隔絕。


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