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勻膠旋涂儀

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產(chǎn)品型號WS650系列

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更新時間：2018-09-25 13:10:21瀏覽次數(shù)：1036次

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韋氏納米系統(tǒng)（深圳）有限公司

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產(chǎn)品簡介

勻膠旋涂儀

詳細(xì)介紹

勻膠旋涂儀

勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)/旋轉(zhuǎn)涂層儀、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)旋涂儀。

特點如下：
◆ 科研制備理想的旋涂儀;
◆ 天然聚丙烯或特氟龍材質(zhì)構(gòu)造;
◆ 216毫米，318毫米和370毫米三種腔體大小;
◆ 可選擇臺面式，和用于濕站或者手套箱系統(tǒng)的不同構(gòu)造;
◆ **轉(zhuǎn)速可達(dá)12000RPM;
◆ 易編程的數(shù)碼控制器（WS650型控制器）;
◆ 可升級成為自動滴膠型;

請根據(jù)實際需要的大小和材質(zhì)選擇相應(yīng)型號：
WS-650-23N
WS-650-23N/OND 適合手套箱
WS-650-23N/IND 適合濕站系統(tǒng)
WS-650-8N
WS-650-8N/OND 適合手套箱
WS-650-8N/IND 適合濕站系統(tǒng)
WS-650-15N
WS-650-15N/OND 適合手套箱
WS-650-15N/IND 適合濕站系統(tǒng)

可選配件：自動滴膠系統(tǒng)UD3、EBR晶圓去邊系統(tǒng)UD-3B、TFL特氟龍內(nèi)襯、針對不同基片材質(zhì)可定制托盤、單點滴注系統(tǒng)（適用于大劑量滴膠）
旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)/旋涂儀超準(zhǔn)的速度控制：
我們的臺式旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)/旋涂儀機(jī)數(shù)碼速度控制器采用的是一個高計數(shù)位的光學(xué)編碼器輸入至伺服馬達(dá)控制器，其設(shè)置點精度小于0.006%（遵照美國NIST激光測量標(biāo)準(zhǔn)），無需校準(zhǔn)；
旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)/旋涂儀內(nèi)包含20個51步程序段或者手動模式，非常方便設(shè)定速度和加速度程序段， 1~10000RPM的穩(wěn)定轉(zhuǎn)速可以隨意設(shè)定！