一、超高真空插板閥:
此閥門分為手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)三種驅(qū)動(dòng),在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上合理,在外形上美觀,并具有動(dòng)作平穩(wěn)、體積小、使用可靠、密封性能好和壽命長等優(yōu)點(diǎn),能廣泛應(yīng)用于超高真空設(shè)備中。閥門以手轉(zhuǎn)動(dòng)手柄為動(dòng)力,通過傳動(dòng)桿推(拉)動(dòng)連桿機(jī)構(gòu),帶著驅(qū)動(dòng)體沿軸向運(yùn)動(dòng),驅(qū)動(dòng)體通過擺桿或鋼珠與閥板連接,完成閥板開啟及關(guān)閉動(dòng)作。閥門的介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。
二、超高真空插板閥特點(diǎn)
軸封有波紋管密封和氟橡膠密封兩種可選擇,其它密封件為氟橡膠,無潤滑劑設(shè)計(jì);
閥體采用不銹鋼內(nèi)部焊接,漏率小;
閥體采用加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu),體積小、重量輕,外形美觀;
采用雙導(dǎo)軌軸承滾輪機(jī)構(gòu),運(yùn)動(dòng)平穩(wěn);閥板整體式結(jié)構(gòu),支撐力均勻。
三、超高真空插板閥性能指標(biāo)
類型: 插(閘)板閥
驅(qū)動(dòng)方式: 手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)
閥體材料: 不銹鋼
適用真空: 超高真空
適用范圍:
1×10-5Pa~1.2×105Pa(全部氟膠圈密封)
1×10-6Pa~1.2×105Pa(波紋管密封)
閥體和閥座漏率:1.3×10-7Pa·L·s-1
保養(yǎng)循環(huán)次數(shù):100,000次
安裝位置:任意
打開時(shí)插板上的壓差:≤3×103Pa任意方向
閥體烘烤溫度:打開時(shí)≤200℃;關(guān)閉時(shí)≤150℃
超高真空插板閥閥門位置指示:
手動(dòng)驅(qū)動(dòng):帶有啟閉位置指示(機(jī)械式)
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng):帶有啟閉位置指示開關(guān)(磁性開關(guān))
電動(dòng)驅(qū)動(dòng):帶有啟閉位置指示開關(guān)(微動(dòng)開關(guān))