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光電真空系統(tǒng)-阿螺桿真空機(jī)組

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更新時(shí)間：2024-09-09 07:56:23瀏覽次數(shù)：183次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Atlas螺桿真空機(jī)組是節(jié)能減排效果非常好的真空系統(tǒng)，節(jié)能可達(dá)50%，在光電行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用深受用戶好評(píng)。

詳細(xì)介紹

光電真空系統(tǒng)-阿螺桿真空機(jī)組：真空領(lǐng)域和減排系統(tǒng)

Atlas螺桿真空機(jī)組應(yīng)用領(lǐng)域：

分析儀器、化工、食品加工、發(fā)電解決方案、半導(dǎo)體、平板顯示、可再生能源（太陽能、LED照明、儲(chǔ)能等）、石材、印刷包裝、家具木材等行業(yè)。

半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用：

晶圓制造過程中的單晶拉晶、LoadLock、刻蝕、CVD、ALD、封裝、測(cè)試等清潔或嚴(yán)苛制程。

真空泵于半導(dǎo)體設(shè)備意義重大：

若半導(dǎo)體器件不同材料層之間混入氣體分子，會(huì)破壞器件的電學(xué)或光學(xué)性能，而真空系統(tǒng)可對(duì)芯片的性能和良率起決定性作用。

Atlas螺桿真空機(jī)擁有VSD和設(shè)定點(diǎn)控制功能，而常規(guī)的真空泵是不具備這樣的功能的，可根據(jù)實(shí)際所需真空水平或速度，提供需求的真空氣量，避免造成浪費(fèi)，Atlas螺桿真空泵是真空領(lǐng)域的節(jié)能減排真空系統(tǒng)，節(jié)能可達(dá)50%，深受用戶好評(píng)。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品名稱：
光電真空系統(tǒng)-阿螺桿真空機(jī)組

產(chǎn)品細(xì)節(jié)

光電真空系統(tǒng)-阿螺桿真空機(jī)組