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尼康NIKON高精度影像測(cè)量?jī)xVMR-H3030

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產(chǎn)品型號(hào)VMR-H3030

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)0

所  在  地常州市

聯(lián)系方式:吳海霞查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2019-01-30 16:23:44瀏覽次數(shù):899次

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經(jīng)營(yíng)模式:

商鋪產(chǎn)品:27條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:吳海霞 (業(yè)務(wù))

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
測(cè)量范圍 300*300(mm) 產(chǎn)品種類 臺(tái)式
數(shù)顯功能 測(cè)量精度 0.6+ 2L /1000μm
測(cè)量準(zhǔn)確度 0.00001(mm% 產(chǎn)地 進(jìn)口
供貨周期 11天 溫控功能

尼康NIKON高精度影像測(cè)量?jī)xVMR-H3030
NEXIV VMR-H3030系列 該設(shè)備具有高精度以及多種功能,XYZ行程為300×300×150毫米,不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測(cè)量,還可以作為精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動(dòng)影象對(duì)焦以及具有掃描功能的激光自動(dòng)對(duì)焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置

詳細(xì)介紹

尼康NIKON高精度影像測(cè)量?jī)xVMR-H3030undefined
 

 

NIKON VMR-H3030高精度影像測(cè)量?jī)x,精密機(jī)型,實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)水平的不確定性(300 x300x150mm載物臺(tái))。 NEXIV VMR-H3030系列 該設(shè)備具有高精度以及多種功能,XYZ行程為300×300×150毫米,不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測(cè)量,還可以作為精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動(dòng)影象對(duì)焦以及具有掃描功能的激光自動(dòng)對(duì)焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組,可以在各段(倍率)間進(jìn)行自由切換,以滿足低倍大視場(chǎng)觀察搜索和高倍精密測(cè)量?jī)煞矫娴男枨?。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有較高精度,加上其合理的布局以及堅(jiān)固耐用的硬件設(shè)計(jì),使 NEXIV VMR-H3030 的測(cè)量不確定度達(dá)到了亞微米級(jí),可以滿足精密模具的檢測(cè)需求。
NIKON VMR-H3030高精度影像測(cè)量?jī)x,適于用作精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備;
3個(gè)型號(hào)(1、2、3 型)各自有 5 級(jí)放大倍率,可滿足不同視場(chǎng)及倍率要求;
有多種多樣的照明方式可供選擇,以確保模具邊界準(zhǔn)確探測(cè)的需求;
較長(zhǎng)的工作距離(50毫米),可滿足測(cè)量對(duì)工件高度方向的空間需求;
高達(dá)15倍的變焦比,可以滿足低倍大視場(chǎng)觀察搜索和高倍精密測(cè)量?jī)煞矫娴男枨?。與無(wú)級(jí)變焦機(jī)構(gòu)相比,采用5段、定倍自動(dòng)變焦機(jī)構(gòu)可以使測(cè)量更加快速、準(zhǔn)確。
應(yīng)用領(lǐng)域:精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備,模具及精密機(jī)械零件測(cè)量。精密掩模板

精密機(jī)械零件

 

 

尼康NIKON高精度影像測(cè)量?jī)xVMR-H3030

Z120X 型(帶高倍頭)
具有高精度的載物臺(tái),與高倍頭配合使用,能夠準(zhǔn)確測(cè)量工件的細(xì)微部位(如精密掩膜及芯片凸點(diǎn)高度等關(guān)鍵尺寸)光學(xué)放大倍數(shù)zui高可達(dá)120X,能夠測(cè)量微距線寬;
高速、高精度的載物臺(tái)有助于對(duì)較大的物體尺寸,進(jìn)行快速、準(zhǔn)確地測(cè)量;
可以分別測(cè)量刻線的上下寬度;
激光自動(dòng)掃描功能,可以用來(lái)測(cè)量芯片上的微小凸點(diǎn)高度以及錫球截面形狀等;
可以對(duì)激光掃描所得的截面輪廓形狀進(jìn)行評(píng)估。
應(yīng)用領(lǐng)域:各種芯片級(jí)封裝、芯片上的凸點(diǎn)高度、各種精密掩膜板等。精密掩模板,倒裝芯片上的凸點(diǎn),芯片凸點(diǎn)形貌色標(biāo)顯示

 

適用產(chǎn)業(yè):研究實(shí)驗(yàn)室、高精度模具、光罩微機(jī)電系統(tǒng)、晶圓凸點(diǎn) … 等。

 

隨著科技的日新月異,產(chǎn)品的規(guī)格要求越來(lái)越精細(xì),使得量測(cè)工具必須能配合產(chǎn)品跟著提高精度,一般的量測(cè)儀器已無(wú)法滿足工業(yè)界量測(cè)上的需求。 VMR-H3030 以高精密度和多樣性功能提供給您量測(cè)質(zhì)量。

 NIKON 采用雙 Y 軸光學(xué)尺,可校正載物臺(tái)移動(dòng)時(shí)可能會(huì) 造成的扭力變形,并改良光學(xué)尺的刻度。

 為了避免震動(dòng)影響到量測(cè)結(jié)果的正確性, VMR-H3030 改良了機(jī)體的結(jié)構(gòu),增加了抗動(dòng)性以減低震 動(dòng)對(duì)量測(cè)所造成的影響。

高精度載物臺(tái)的設(shè)計(jì),對(duì)于 XY 方向移動(dòng)所可能產(chǎn)生的額外應(yīng)力,因而導(dǎo)致載物臺(tái)不在原定光學(xué)尺 的軌道上滑動(dòng),使得量測(cè)數(shù)據(jù)產(chǎn)生誤差的六大因素,進(jìn)行矯正預(yù)防措施。

 技術(shù)參數(shù):

機(jī)型

VMR H3030

VMR H3030-Z120X

行程 (XxYxZ) mm

300 x 300 x 150

讀值

0.01 μm

承重

30kg

量測(cè)精度

U 1X U 1Y

0.6+ 2L /1000μm

U 2XY

0.9+ 3L /1000μm

Z Axis

0.9+ L/150μm

攝影機(jī)

B & W CCD (progressive) ; Color CCD

工作距離

50 mm

高倍

9.8 mm

低倍

32 mm

倍率 ─ 視野

Type 1

0.5X -- 9.33 x 7 mm 7.5X -- 0.622 x 0.467 mm

1X -- 4.67 x 3.5 mm

120X -- 0.039 x 0.029 mm

Type 2

1X -- 4.67 x 3.5 mm 15X -- 0.311 x 0.233 mm

Type 3

2X -- 2.33 x 1.75 mm 30X -- 0.155 x 0.177 mm

自動(dòng)對(duì)焦方式

TTL 雷射對(duì)焦和影像對(duì)焦

光源種類

底部光、表面光 LED 環(huán)形光
( 內(nèi)環(huán) / 外環(huán) )

底部光 ( 高倍光學(xué)頭 )
表面光、暗視野

電源

AC100 ~ 240V±10%, 50/60Hz

電力消耗

Max. 7A

外觀尺寸與重量(W x D x H) mm

僅主體

915 x 1060 x 1300 約 450kg

主體與防震桌

1000 x 1100 x 1900 約 570kg

控制箱

250 x 550 x 500 約 31kg

接地尺寸 (W x D) mm

2400 x 1400


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