3TEDI超純水系統(tǒng)采用的是主要是反滲透膜技術(shù)。它的工作原理是對水施加一定的壓力，使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)、有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜，從而使?jié)B透過的純凈水和無法滲透過的濃縮水嚴格的分開;反滲透膜上的孔徑只有0.0001微米,而病毒的直徑一般有0.02-0.4微米,普通細菌的直徑有0.4-1微米。近幾十年以來，混合床離子交換技術(shù)一直作為超純水制備的標(biāo)準(zhǔn)工藝。由于其需要周期性的再生且再生過程中使用大量的化學(xué)藥品（酸堿）和純水，并造成一定的環(huán)境問題，因此需要開發(fā)無酸堿超純水系統(tǒng)。

超純水設(shè)備制備工藝

1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 （≥18MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)

2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）

3、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機（PH調(diào)節(jié)）→中間水箱→第二級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17MΩ.CM）

3TEDI超純水系統(tǒng)

①水質(zhì)穩(wěn)定；②容易實現(xiàn)全自動控制；③不會因再生而停機；④不需化學(xué)再生；⑤運行費用低；⑥占地面積小；⑦無污水排放。

EDI裝置是應(yīng)用在反滲透系統(tǒng)之后，取代離子交換樹脂，無需酸堿再生，具有水質(zhì)穩(wěn)定、運行費用低、操作管理方便、占地面積小等特點。

超純水設(shè)備采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、混床、EDI裝置以及后級處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。 超純水設(shè)備又稱做：超純水器，超純水機，超純水儀，超純水系統(tǒng)，實驗室超純水器等。 超純水機所生產(chǎn)的超純水電阻率一般應(yīng)大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.25兆歐。